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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-1997-0011805 (1997-03-31) |
공개번호 | 10-1998-0075564 (1998-11-16) |
등록번호 | 10-0231833-0000 (1999-09-01) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1019970011805 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (1997-03-31) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
첨가제를 혼합하여 미세에칭 가공능력을 향상시킨 에칭액에 관하여 개시된다. 개시된 에칭액은: 염화제이철(FeCl3) 및 염화동(CuCl2) 중에 적어도 어느 하나를 함유한 에칭액에 있어서; 우레아 화합물, 유기황화합물 및 계면활성제를 함유하여 된 것을 특징으로 한다. 여기에서 상기 우레아 화합물은 카바미드(Carbamide, CH4N2O)인 것이 바람직하고, 상기 유기황화합물은 C2H6N2S인 것이 바람직하다. 이러한 구성을 갖는 본 발명에 따른 에칭액은 에칭부위의 측면에 형성시킨 베리어 필름에 의해, 측면 방향의 에칭을 최대한 억제
염화제이철(FeCl3) 및 염화동(CuCl2) 중에 적어도 어느 하나를 함유한 에칭액에 있어서, 우레아 화합물, 유기황화합물 및 계면활성제를 함유하여 된 것을 특징으로 하는 에칭액.
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