[특허]에칭장치

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IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC9판)	H01L-021/306
출원번호	10-2010-0088359 (2010-09-09)
공개번호	10-2012-0026244 (2012-03-19)
등록번호	10-1150022-0000 (2012-05-18)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020100088359
발명자 / 주소	진민석 / 경상남도 창원시 성산구 정동로 , 삼성테크윈(주) (성주동) 강성일 / 경상남도 창원시 성산구 정동로 , 삼성테크윈(주) (성주동)
출원인 / 주소	삼성테크윈 주식회사 / 경상남도 창원시 성산구 창원대로 **** (성주동)
대리인 / 주소	이숙열
심사청구여부	있음 (2010-09-09)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록

본 발명은 에칭장치에 관한 것으로, 피처리 소재를 수평하게 이동시키는 이송롤러 및 상기 소재의 상부에 설치되어 에칭액을 분사하는 다수개의 에칭노즐을 포함하되, 상기 소재의 상부에는 공기를 분사하여 상기 에칭액을 외측으로 흘려보내는 에어노즐이 구비되고, 상기 소재의 양측단부에는 상기 에칭액을 흡입하여 제거하는 진공흡입유닛이 구비되어 소재 표면에 고이는 잔존 에칭액을 신속하게 제거할 수 있는 에칭장치를 제공한다.

대표청구항

피처리 소재를 수평하게 이동시키는 이솔롤러와;상기 소재의 상부에 설치되어 에칭액을 분사하는 다수개의 에칭노즐; 및상기 소재의 상부에 설치되어 공기를 분사함으로써 상기 에칭액을 외측으로 흘려보낼 수 있도록 하단부가 상기 소재의 중심으로부터 양측 방향으로 절곡되는 에어노즐;을 포함하여 구성되는 에칭장치.

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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