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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-1997-0034047 (1997-07-16) |
공개번호 | 10-1999-0011088 (1999-02-18) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1019970034047 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (1997-07-16) |
심사진행상태 | 거절결정(일반) |
법적상태 | 거절 |
본 발명은 웨이퍼(Wafer)의 이동, ID의 읽기, 플랫 존(flat zone), 노치포지션(Notch position)정렬 등을 위해 사용되어지는 웨이퍼 소터(wafer sorter)에서, 웨이퍼에 형성된 플랫(flat)을 빠르고 간단하게 확인하여 웨이퍼플랫을 ID 인식 카메라 하부에 위치시키도록 하는 웨이퍼 플랫 존 확인방법 및 장치에 관한 것이다.이러한 본 발명은 웨이퍼 포크로 이송된 웨이퍼를 잡아 회전시키는 진공척과, 바닥에 설치되고 진공척위에 놓여진 웨이퍼에 의해 일부분만 가려지는 발광소자와, 웨이퍼 상부에서 일정거리를
웨이퍼 소터의 웨이퍼 플랫 확인방법에 있어서, 웨이퍼의 상부 일정거리에서 웨이퍼를 카메라로 촬영하고 촬영된 영상 데이타를 표준영상 데이타와 비교하여 웨이퍼 플랫을 확인하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 플랫 확인방법.
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