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연합인증

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포지티브 포토레지스트의 현상방법 및 이를 위한 조성물 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC9판)
  • G03F-007/32
출원번호 10-1997-0704871 (1997-07-18)
공개번호 10-1998-0701480 (1998-05-15)
등록번호 10-0394445-0000 (2003-07-30)
국제출원번호 PCT/US1996/000917 (1996-01-19)
국제공개번호 WO1996022564 (1996-07-25)
번역문제출일자 1997-07-18
DOI http://doi.org/10.8080/1019970704871
발명자 / 주소
  • 스탠리 에이. 휘크너 / 미국, 펜실베니아 *****, 베들레헴, 티모시 드라이브***
  • 존 맥바스 / 미국, 뉴저지 *****, 피스카타웨이, 안소니 애비뉴 ***
  • 크리스토퍼 에프. 라이온스 / 미국, 캘리포니아 *****, 프리몬트, 러윅 스트리트 ****
  • 웨인 엠. 모류 / 미국, 뉴욕 *****, 와핀거, 리디아 드라이브 **
  • 마리나 브이. 플랫 / 미국, 뉴욕 *****, 하이드 파크, 화이트 오크 로드 **
출원인 / 주소
  • 인터내셔널 비지네스 머신즈 코포레이션 / 미국 ***** 뉴욕주 아몬크 뉴오차드 로드
  • 클래리언트 파이낸스(비브이아이)리미티드 / 영령버진군도토톨라로드타운피.오.박스*** 윅햄즈캐이시트코빌딩
대리인 / 주소
  • 신정건; 김성기; 나영환; 이상섭 (SHIN, JUNG KUN)
  • 서울 중구 충무로 *가 **-* 극동빌딩 **층(리인터내셔날특허법률사무소); 서울 중구 충무로*가 **-* 극동빌딩 **층(김성기특허법률사무소); 서울 중구 충무로 *가 **-* 극동빌딩 **층(리인터내셔날특허법률사무소); 서울 중구 충무로 *가 **-* 극동빌딩 **층(리인터내셔날특허법률사무소)
심사청구여부 있음 (2000-12-22)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 소멸

초록

본 발명은 양성 포토레지스트를 현상하기 위한 방법 및 조성물에 관한 것이다. 본 발명의 현상액 조성물은 수산화 암모늄 수성 염기 및 불소 첨가된 알킬 알콕실레이트류의 계면 활성제를 포함한다. 상기 계면 활성제는 상기 현탁액 조성물내에 10 내지 30 ppm의 양으로 존재하는 것이 가장 바람직하다. 특히 바람직한 계면 활성제는 술포닐 및 아민부를 포함한다.

대표청구항 ▼

(a)수성 수산화 암모늄 염기 및 약 1 내지 250 ppm의 양으로 존재하는 불소 첨가된 알킬 알콕실레이트 계면 활성제를 함유하는 수성 염기 현상액 조성물을 양성 포토레지스트 필름에 적용하는 단계; 및 (b) 상기 필름에서 현상제 조성물을 세정하는 단계를 필수적으로 포함하는 양성 포토레지스트 필름 기재의 현상 방법.제 1 항에 있어서, 상기 계면 활성제가 약 2 내지 약 95 ppm으로 존재하는 방법.제 1 항에 있어서, 상기 계면 활성제가 약 5 내지 약 50 ppm으로 존재하는 방법.제 1 항에 있어서, 상기 계면 활성제가 약

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