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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-1998-0000589 (1998-01-12) |
공개번호 | 10-1999-0065344 (1999-08-05) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1019980000589 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
본 발명은 반도체장치의 제조를 위하여 가공되는 웨이퍼를 냉각시키기 위한 열전소자를 갖는 반도체 웨이퍼 냉각장치에 관한 것이다.본 발명에 따른 열전소자를 갖는 반도체 웨이퍼 냉각장치는, 웨이퍼(7)가 놓여지는 리드(41), 상기 리드(41)를 냉각시키기 위한 냉각판(42) 및 상기 냉각판(42)을 재냉각시키기 위한 열전소자(8)로 구성됨을 특징으로 한다.따라서, 냉각가스의 순환에 의하여 리드(41)를 냉각시키는 1차냉각장치와 보조냉각수단으로서의 냉각수
웨이퍼가 놓여지는 리드, 상기 리드를 냉각시키기 위한 냉각판 및 상기 냉각판을 재냉각시키기 위한 열전소자로 구성됨을 특징으로 하는 열전소자를 갖는 반도체 웨이퍼 냉각장치.
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