[특허]이에스 씨（ESC：ELECTROSTAICCHUCK） 장치

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IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)	H01L-021/304
출원번호	10-1998-0003069 (1998-02-04)
공개번호	10-1999-0069050 (1999-09-06)
등록번호	10-0282421-0000 (2000-11-28)
DOI	http://doi.org/10.8080/1019980003069
발명자 / 주소	홍진기 / 충청북도 청주시 흥덕구 수곡동 두진백로아파트 -*
출원인 / 주소	현대반도체 주식회사 / 충북 청주시 흥덕구 향정동 *번지
대리인 / 주소	김용인; 강용복 (KIM, Yong In) 서울 강남구 역삼동 - 여삼빌딩 층(특허법률사무소); 서울 강남구 역삼동 *- 여삼빌딩 층 (*특허법률사무소)
심사청구여부	있음 (1998-02-04)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	소멸

초록 ▼

본 발명은 웨이퍼 식각시 웨이퍼에 대전된 전하를 방전시킴에 있어서, 접지단으로 일시에 전하를 방전시키게 됨에 따라 발생되는 게이트절연막의 파괴를 방지하기 위해 정전척에 부(-)전압을 인가하여 안정되게 웨이퍼에 대전된 전하를 방전시키도록 하는데 적당한 ESC장치를 제공하기 위한 것으로서, 정전척을 이용하는 ESC장치에 있어서, 웨이퍼 홀딩을 위해 상기 정전척에 ESC전압을 인가하는 제 1 전압인가부와, 상기 ESC전압에 의해 상기 웨이퍼에 대전된 전하를 방전시키기 위한 부(-)전압을 인가하는 제 2 전압인가부와, 상기 정전척과 제 1

대표청구항

정전척을 이용하는 ESC장치에 있어서,웨이퍼 홀딩을 위해 상기 정전척에 ESC전압을 인가하는 제 1 전압인가부와,상기 ESC전압에 의해 상기 웨이퍼에 대전된 전하를 방전시키기 위한 부(-)전압을 인가하는 제 2 전압인가부와,상기 정전척과 제 1, 제 2 전압인가부를 선택적으로 절환시키는 스위칭부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 이에스씨(ESC)장치.

이 특허에 인용된 특허 (1)

[한국] 정전척의 구조및 디척킹 방법 | 지경구
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특허 원문 보기

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IPC 상위 출원인

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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