최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
---|---|
국제특허분류(IPC9판) |
|
출원번호 | 10-2005-0126153 (2005-12-20) |
공개번호 | 10-2007-0065567 (2007-06-25) |
등록번호 | 10-0994476-0000 (2010-11-09) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020050126153 |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
심사청구여부 | 있음 (2008-03-13) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 정전척의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 세라믹볼을 이용하여 엠보싱 처리된 정전척을 제조하는 방법에 관한 것이다.본 발명에 따른 정전척에 의하면, 반도체 기판의 제작공정상 기판의 손상과 파티클 발생을 방지하도록 엠보싱 처리된 정전척 및 그 제조방법을 제공하는 효과가 있다. 또한, 세라믹볼을 이용하여 엠보싱 처리를 함으로써 세라믹볼의 마모시 교체가 가능하고 세라믹볼 표면의 조도조절이 가능하여, 빠르고 정확하게 엠보싱 정전척을 생성하고 사용수명이 연장된 정전척 및 그 제조방법을 제공하는 효과가 있다.
정전척 제조방법에 있어서,1)전극패턴을 포함하는 유전체층 형성시, 상기 유전체층 상면에 홈부를 형성하는 단계; 및2)상기 홈부에 세라믹볼을 결합하여 볼록부를 형성하는 단계;를 포함하며,상기 제2)단계에서는, 각 홈부의 위치와 대응되는 돌기부의 말단에 접착제를 묻히고, 상기 돌기부를 하강시켜 각 홈부에 상기 접착제를 부착하는 것을 특징으로 하는 정전척의 제조방법.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.