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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2003-0083435 (2003-11-24) |
공개번호 | 10-2005-0049725 (2005-05-27) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020030083435 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
본 발명은 정전척 상에 놓여진 웨이퍼의 공정이 완료된 후 리프트핀에 의해 상승될 때 정전척의 잔류 전하에 의한 스티킹 현상을 방지하는 정전척에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명의 스티킹을 방지하는 정전척은, 알루미늄 재질로 이루어진 정전척 몸체부와, 상기 정전척 몸체부의 상부에 형성된 세라믹부와, 상기 세라믹부 내부에 형성된 전극과, ESC전원을 공급하는 ESC전원부와, 상기 ESC전원부로부터 발생된 전원을 상기 전극으로 안정되게 공급하고 고주파 전원이 상기 ESC전원으로 흘러들어 오는 것을 차단하기 위한
스티킹을 방지하는 정전척에 있어서, 알루미늄 재질로 이루어진 정전척 몸체부와, 상기 정전척 몸체부의 상부에 형성된 세라믹부와, 상기 세라믹부 내부에 형성된 전극과, ESC전원을 공급하는 ESC전원부와, 상기 ESC전원부로부터 발생된 전원을 상기 전극으로 안정되게 공급하고 고주파 전원이 상기 ESC전원으로 흘러들어 오는 것을 차단하기 위한 저역통과필터와, 고주파전원을
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