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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-1998-0003069 (1998-02-04) |
공개번호 | 10-1999-0069050 (1999-09-06) |
등록번호 | 10-0282421-0000 (2000-11-28) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1019980003069 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (1998-02-04) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 웨이퍼 식각시 웨이퍼에 대전된 전하를 방전시킴에 있어서, 접지단으로 일시에 전하를 방전시키게 됨에 따라 발생되는 게이트절연막의 파괴를 방지하기 위해 정전척에 부(-)전압을 인가하여 안정되게 웨이퍼에 대전된 전하를 방전시키도록 하는데 적당한 ESC장치를 제공하기 위한 것으로서, 정전척을 이용하는 ESC장치에 있어서, 웨이퍼 홀딩을 위해 상기 정전척에 ESC전압을 인가하는 제 1 전압인가부와, 상기 ESC전압에 의해 상기 웨이퍼에 대전된 전하를 방전시키기 위한 부(-)전압을 인가하는 제 2 전압인가부와, 상기 정전척과 제 1
정전척을 이용하는 ESC장치에 있어서,웨이퍼 홀딩을 위해 상기 정전척에 ESC전압을 인가하는 제 1 전압인가부와,상기 ESC전압에 의해 상기 웨이퍼에 대전된 전하를 방전시키기 위한 부(-)전압을 인가하는 제 2 전압인가부와,상기 정전척과 제 1, 제 2 전압인가부를 선택적으로 절환시키는 스위칭부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 이에스씨(ESC)장치.
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