초록 ▼

본 발명은 인상중의 단결정을 파지구에 의해 파지할 때에 인상중의 단결정이 다결정화하는 것을 방지하고, 또한, 자동적으로 파지하는 것을 목적으로 한다. 와이어(1)를 인하시켜 종결정(3)을 석영 도가니(10)내의 Si용융액(11)의 표면에 대하여 침지시킬 때, 아암(12, 13)은 선단이 Si용융액(11)에 접촉하지 않는 위치에 대기하고, 또한, 파지아암(12)의 선단은, 인상중의 지름확대부(5)에 접촉하지 않도록 개방되어 있다. 와이어(1)를 인상하는 것에 의해 종결정(3)의 밑으로 넥부(4), 지름확대부(5), 축소부(6), 결정

본 발명은 인상중의 단결정을 파지구에 의해 파지할 때에 인상중의 단결정이 다결정화하는 것을 방지하고, 또한, 자동적으로 파지하는 것을 목적으로 한다. 와이어(1)를 인하시켜 종결정(3)을 석영 도가니(10)내의 Si용융액(11)의 표면에 대하여 침지시킬 때, 아암(12, 13)은 선단이 Si용융액(11)에 접촉하지 않는 위치에 대기하고, 또한, 파지아암(12)의 선단은, 인상중의 지름확대부(5)에 접촉하지 않도록 개방되어 있다. 와이어(1)를 인상하는 것에 의해 종결정(3)의 밑으로 넥부(4), 지름확대부(5), 축소부(6), 결정본체 부분(7)을 형성하여, 인상중에 지름확대부(5)의 윗면이 접촉/검출아암(13)의 선단에 접촉한 것이 센서(14)에 의해 검출되면, 파지아암(12)의 선단이 닫히도록 구동되어, 축소부(6)를 파지한다. 파지가 완료되면 와이어(1)와 아암(12, 13)을 일체로 회전시키면서 인상한다.

대표청구항 ▼

종결정을 지지하는 종결정홀더를 회전시키면서 인상하는 종결정인상수단과, 상기 종결정홀더와 같이 회전가능하고, 또한 상하 방향으로 이동가능하며, 상기 종결정인상수단에 의한 인상에 의해 상기 종결정의 밑으로 형성되는 단결정의 지름확대부의 윗면이 접촉가능하게 배치되고, 또한 상기 지름확대부가 접촉한 뒤, 상기 지름확대부를 윗쪽에서부터 누르는 기능을 가지는 접촉부재와,상기 종결정홀더 및 상기 접촉부재와 같이 회전가능하고, 또한 상하 방향으로 이동가능하며, 상기 종결정인상수단에 의한 인상에 의해 상기 지름확대부의 밑으로 형성되는 단결정의 잘록

종결정을 지지하는 종결정홀더를 회전시키면서 인상하는 종결정인상수단과, 상기 종결정홀더와 같이 회전가능하고, 또한 상하 방향으로 이동가능하며, 상기 종결정인상수단에 의한 인상에 의해 상기 종결정의 밑으로 형성되는 단결정의 지름확대부의 윗면이 접촉가능하게 배치되고, 또한 상기 지름확대부가 접촉한 뒤, 상기 지름확대부를 윗쪽에서부터 누르는 기능을 가지는 접촉부재와,상기 종결정홀더 및 상기 접촉부재와 같이 회전가능하고, 또한 상하 방향으로 이동가능하며, 상기 종결정인상수단에 의한 인상에 의해 상기 지름확대부의 밑으로 형성되는 단결정의 잘록한 부분을 파지하기 위해서 선단이 개폐 가능한 파지부재와,인상중의 단결정의 상기 지름확대부의 윗면이 상기 접촉부재에 접촉할 때에, 상기 파지부재의 선단을 닫아 상기 접촉부재와의 상호작용에 의해 상기 잘록한 부분을 파지하도록 상기 지름확대부의 아랫면에 상기 파지부재의 선단을 이동시키는 이동수단을 가지는 단결정인상장치.