초록 ▼

본 발명은 (a) 도가니부가 일정한 속도로 회전하고, 수용한 실리콘 용융액을 실리콘의 용융점에 근접하도록 냉각시켜 안정화시키는 단계; (b) 종자결정 로드부가 챔버부에 삽입된 상태로 하강하여, 종자결정을 상기 실리콘 용융액의 표면에 근접하도록 위치시켜 예열하는 단계; (c) 상기 종자결정 로드부가 하강하여 상기 종자결정을 상기 실리콘 용융액의 표면에 접촉시키는 단계; (d) 상기 종자결정 로드부가 상승하여, 상기 종자결정을 상기 실리콘 단결정 잉곳의 넥부 및 숄더부로 성장시키는 단계; (e) 상기 종자결정 로드부가 상승하여 상기 실

본 발명은 (a) 도가니부가 일정한 속도로 회전하고, 수용한 실리콘 용융액을 실리콘의 용융점에 근접하도록 냉각시켜 안정화시키는 단계; (b) 종자결정 로드부가 챔버부에 삽입된 상태로 하강하여, 종자결정을 상기 실리콘 용융액의 표면에 근접하도록 위치시켜 예열하는 단계; (c) 상기 종자결정 로드부가 하강하여 상기 종자결정을 상기 실리콘 용융액의 표면에 접촉시키는 단계; (d) 상기 종자결정 로드부가 상승하여, 상기 종자결정을 상기 실리콘 단결정 잉곳의 넥부 및 숄더부로 성장시키는 단계; (e) 상기 종자결정 로드부가 상승하여 상기 실리콘 단결정 잉곳의 바디부를 성장시키고 상기 도가니부가 증가된 속도로 회전하는 단계; 및 (f) 상기 종자결정 로드부가 상승하여 상기 실리콘 단결정 잉곳의 테일부를 성장시키고 상기 성장된 실리콘 단결정 잉곳을 상기 실리콘 용융액으로부터 분리하여 냉각시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 잉곳 성장 방법을 개시한다. 상기와 같은 실리콘 단결정 잉곳 성장 방법은 실리콘 단결정 잉곳에 함유된 산소의 농도를 감소시키면서 실리콘 단결정 잉곳의 다결정화를 감소시킬 수 있다.

대표청구항 ▼

(a) 도가니부가 일정한 속도로 회전하고, 수용한 실리콘 용융액을 실리콘의 용융점에 근접하도록 냉각시켜 안정화시키는 단계;(b) 종자결정 로드부가 챔버부에 삽입된 상태로 하강하여, 종자결정을 상기 실리콘 용융액의 표면에 근접하도록 위치시켜 예열하는 단계;(c) 상기 종자결정 로드부가 하강하여 상기 종자결정을 상기 실리콘 용융액의 표면에 접촉시키는 단계;(d) 상기 종자결정 로드부가 상승하여, 상기 종자결정을 실리콘 단결정 잉곳의 넥부 및 숄더부로 성장시키는 단계;(e) 상기 종자결정 로드부가 상승하여 상기 실리콘 단결정 잉곳의 바디

(a) 도가니부가 일정한 속도로 회전하고, 수용한 실리콘 용융액을 실리콘의 용융점에 근접하도록 냉각시켜 안정화시키는 단계;(b) 종자결정 로드부가 챔버부에 삽입된 상태로 하강하여, 종자결정을 상기 실리콘 용융액의 표면에 근접하도록 위치시켜 예열하는 단계;(c) 상기 종자결정 로드부가 하강하여 상기 종자결정을 상기 실리콘 용융액의 표면에 접촉시키는 단계;(d) 상기 종자결정 로드부가 상승하여, 상기 종자결정을 실리콘 단결정 잉곳의 넥부 및 숄더부로 성장시키는 단계;(e) 상기 종자결정 로드부가 상승하여 상기 실리콘 단결정 잉곳의 바디부를 성장시키고 상기 도가니부가 증가된 속도로 회전하는 단계; 및(f) 상기 종자결정 로드부가 상승하여 상기 실리콘 단결정 잉곳의 테일부를 성장시키고 상기 성장된 실리콘 단결정 잉곳을 상기 실리콘 용융액으로부터 분리하여 냉각시키는 단계를 포함하되,상기 (a) 단계 내지 상기 (d) 단계에서, 상기 도가니부는 1 rpm 내지 3 rpm의 속도로 회전하며,상기 도가니부의 상부에 위치한 열 쉴드부와, 상기 도가니부를 둘러싸도록 위치한 가열부를 연결하는 실린더부가 상기 열 쉴드부의 높이를 조절하여 실리콘 용융액의 표면 높이를 조절하는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 잉곳 성장 방법.