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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-1999-0045326 (1999-10-19) |
공개번호 | 10-2001-0037673 (2001-05-15) |
등록번호 | 10-0313902-0000 (2001-10-25) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1019990045326 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (1999-10-19) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
초고해상도(super resolution)의 정밀 광학계에서 사용되는 마이크로 SIL(Solid Immersion Lens)의 제조방법에 관한 것으로, 기판 위의 소정 영역들을 1차 식각하여 다수개의 지지 프레임 패턴들을 형성하고 지지 프레임 패턴들 사이의 기판을 2차 식각하여 다수개의 렌즈 패턴들을 형성한 다음, 지지 프레임 및 렌즈 패턴들이 형성된 기판 위에 렌즈 형성 물질을 도포하여 평탄화시킨 후, 렌즈 형성 물질을 패터닝하여 마이크로-렌즈들을 형성하고 기판으로부터 마이크로-렌즈들을 분리하여 제작된다. 본 발명은 반도체 일관
지지 프레임 및 렌즈로 이루어진 마이크로-렌즈 제조방법에 있어서,기판 위의 소정 영역들을 1차 식각하여 상기 다수개의 지지 프레임 패턴들을 형성하고, 상기 지지 프레임 패턴들 사이의 기판을 2차 식각하여 상기 다수개의 렌즈 패턴들을 형성하는 제 1 단계;상기 지지 프레임 및 렌즈 패턴들이 형성된 기판 위에 상기 렌즈 형성 물질을 도포하여 평탄화시키는 제 2 단계;상기 렌즈 형성 물질을 패터닝하여 상기 마이크로-렌즈들을 형성하고, 상기 기판으로부터 상기 마이크로-렌즈들을 분리하는 제 3 단계; 그리고,상기 제 2, 제 3 단계를 순차
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