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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2000-0077384 (2000-12-16) |
공개번호 | 10-2001-0062509 (2001-07-07) |
등록번호 | 10-0447420-0000 (2004-08-26) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020000077384 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2000-12-16) |
심사진행상태 | 이의신청후 등록유지 |
법적상태 | 소멸 |
본 발명에는, 불화암모늄(NH4F)-불화수소(HF)함유 용융염으로 이루어진 동시에 조성비(HF/NH4F)가 1 내지 3인 전해액을 전기분해해서 3불화질소(NF3)가스를 제조하기 위한 전극 및 NF3가스의 제조에 사용되는 전해액, 그리고, 상기 전극과 전해액을 사용한 NF3가스의 제조방법이 개시되어 있다. 상기 전극은, Si함유량이 0.07중량% 이하인 니켈로 이루어져 있고, 또, 니켈이외의 전이금속을 함유하고 있다. 또한, 상기 전해액도 니켈이외의 전이금속을 함유하고 있다.
불화암모늄(NH4F)-불화수소(HF)함유 용융염으로 이루어진 동시에 조성비(HF/NH4F)가 1 내지 3인 전해액을 전기분해해서 3불화질소가스를 제조하기 위한 전극에 있어서, Si함유량이 0.07중량% 이하인 니켈로 이루어진 것을 특징으로 하는 전극.
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