최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
---|---|
국제특허분류(IPC9판) |
|
출원번호 | 10-2001-0035359 (2001-06-21) |
공개번호 | 10-2002-0097425 (2002-12-31) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020010035359 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
심사청구여부 | 있음 (2001-06-21) |
심사진행상태 | 거절결정(일반) |
법적상태 | 거절 |
본 발명은 초저속 경사 회전 노광장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는 미소기전소자(MEMS) 기술을 이용하여 3차원의 미소 구조체를 제조 가능케 하는 초저속 경사 회전 노광장치에 관한 것이다.본 발명에 따르면, 노광장치에 구동 전원을 공급하기 위한 전원공급장치와; 평행광 램프를 냉각시키기 위한 램프냉각장치와; 내부에 구비된 각각의 반사 미러를 통해 평행광의 출력을 얻기 위한 노광장치의 경통과; 상기 노광장치의 경통을 통해 출력된 평행광을 이용하여 초저속 회전에 의해 경사된 상태에서 노광 공정을 진행하는 척과; 상기 척을 초저속으로
노광장치에 구동 전원을 공급하기 위한 전원공급장치와;평행광 램프를 냉각시키기 위한 램프냉각장치와;내부에 구비된 각각의 반사 미러를 통해 평행광의 출력을 얻기 위한 노광장치의 경통과;상기 노광장치의 경통을 통해 출력된 평행광을 이용하여 초저속 회전에 의해 경사된 상태에서 노광 공정을 진행하는 척과;상기 척을 초저속으로 회전 구동을 위한 모터와;상기 척의 진공 상태를 유지하기 위한 진공장치와;상기 척의 초저속 회전 상태의 범위를 제어하기 위한 컴퓨터장치를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 초저속 경사 회전 노광장치.청구항 1에 있어
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.