초록

본 발명은 포토 레지스트가 도포된 기판에 마스크를 통하여 광원을 조사함으로 기판에 경사 구조물 형태의 패턴을 형성시킬 수 있는 노광기 및 노광방법에 관한 것으로서, 특히 기판과 마스크가 조사되는 광원에 대해 수직 이동되는 동시에 회전 이동시킴으로 기판에 연속적으로 각도가 변화되는 경사 구조물 형상의 패턴을 형성시킬 수 있기 때문에 다양한 형상의 패턴을 형성시킬 수 있는 이점이 있다.

대표청구항 ▼

포토 레지스트가 도포된 기판이 장착되는 기판 스테이지와,상기 기판 스테이지 일측에 설치되어 마스크가 장착되는 마스크 스테이지와,상기 기판 스테이지 및 마스크 스테이지와 연결 설치되어 상기 기판 스테이지와 마스크 스테이지를 조사되는 광원에 대해 수직 이동시키는 동시에 회전시킬 수 있는 스캔 스테이지를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 경사 노광기.제 1 항에 있어서,상기 스캔 스테이지는 상기 기판 스테이지와 마스크 스테이지가 일면에 장착되어 상기 기판 스테이지와 마스크 스테이지를 조사되는 광원에 대해 수직 이동시키는 수직이동 스테이

포토 레지스트가 도포된 기판이 장착되는 기판 스테이지와,상기 기판 스테이지 일측에 설치되어 마스크가 장착되는 마스크 스테이지와,상기 기판 스테이지 및 마스크 스테이지와 연결 설치되어 상기 기판 스테이지와 마스크 스테이지를 조사되는 광원에 대해 수직 이동시키는 동시에 회전시킬 수 있는 스캔 스테이지를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 경사 노광기.제 1 항에 있어서,상기 스캔 스테이지는 상기 기판 스테이지와 마스크 스테이지가 일면에 장착되어 상기 기판 스테이지와 마스크 스테이지를 조사되는 광원에 대해 수직 이동시키는 수직이동 스테이지와, 상기 수직이동 스테이지와 연결되도록 베이스에 회전 가능하게 장착되어 상기 기판 스테이지와 마스크 스테이지가 수직 이동됨에 따라 상기 수직이동 스테이지를 조사되는 광원에 대해 회전시켜 주는 회전이동 스테이지를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 경사 노광기.제 1 항에 있어서,상기 회전이동 스테이지는 일정한 회전각 변화율에 따라 작동되는 것을 특징으로 하는 경사 노광기.포토 레지스트가 도포된 기판과 마스크가 겹쳐지도록 장착되는 제1단계와,상기 제1단계에서 장착된 기판과 마스크로 광원이 조사되는 제2단계와,상기 제2단계에서 조사되는 광원에 대해 상기 기판과 마스크가 조사되는 광원에 대해 수직 이동되는 동시에 회전 이동되는 제3단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 경사 노광방법.제 4 항에 있어서,상기 제3단계는 상기 기판과 마스크가 설정된 회전각 변화율에 따라 광원에 대해 회전 이동되는 것을 특징으로 하는 경사 노광방법.제 5 항에 있어서,상기 제3단계는 상기 회전각 변화율이 설정되는 과정이 더 포함된 것을 특징으로 하는 경사 노광방법.