$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

[한국특허] 플라즈마 식각 장비를 이용한 식각 방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/3065
출원번호 10-2001-0038472 (2001-06-29)
공개번호 10-2003-0002772 (2003-01-09)
등록번호 10-0420204-0000 (2004-02-13)
DOI http://doi.org/10.8080/1020010038472
발명자 / 주소
  • 조용태 / 경기도이천시증포동선경*차아파트***동****호
  • 최봉호 / 서울특별시광진구광장동현대*차***동****호
  • 김동현 / 경기도이천시부발읍응암리이화아파트***동****호
출원인 / 주소
  • 주식회사 하이닉스반도체 / 경기 이천시 부발읍 아미리 산***-*
대리인 / 주소
  • 신영무 (SHIN, Young Moo)
  • 서울 중구 순화동 *-*** 에이스타워 *층
심사청구여부 있음 (2001-06-29)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 소멸

초록

본 발명은 반도체 소자의 제조 공정에 사용되는 플라즈마 식각 장비에 관한 것으로, 진공 상태가 유지될 수 있는 케이지 내부에 웨이퍼 지지대를 위치시키고, 웨이퍼 지지대가 경사지게 움직일 수 있도록 하여 플라즈마 이온의 직진성이 유지되는 상태에서 경사 식각이 이루어지도록 하므로써 보상 식각에 의해 오정렬로 인한 불량이 사전에 방지되도록 한다.

대표청구항

가스 주입구 및 가스 배기구가 각각 형성된 챔버와,상기 챔버 내의 저면부에 설치된 캐소드 전극과,상기 캐소드 전극의 상부에 위치되며 회전축에 의해 회전 및 기울어짐이 가능하도록 구성된 웨이퍼 지지대와,상기 웨이퍼 지지대가 내부에 위치되도록 상기 캐소드 전극과 밀착되어 설치된 케이지와,상기 챔버의 상부에 설치된 에노드 전극과,상기 에노드 전극에 고주파 전력을 공급하기 위한 고주파 전력 공급기를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 플라즈마 식각 장비.

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [일본] METHOD AND DEVICE FOR ETCHING SEMICONDUCTOR WAFER | NONAMI HIDEAKI
    상세보기
  2. [한국] 플라즈마 공정 장치. | 강재구
    상세보기

관련 콘텐츠

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로