초록

본 발명은 몰리브덴층(MO)과 알루미늄층(AL)을 포함하는 다중층을 식각하기 위한 식각액에 관한 것으로서, 인산 50 내지 70 중량%, 질산 10 내지 14 중량%, 초산 3 내지 9 중량%, 및 잔량의 물을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해 몰리브덴층과 알루미늄층을 포함하는 다중층을 언더컷 등이 없는 바람직한 프로파일로 형성할 수 있는 식각액이 제공된다.

대표청구항 ▼

몰리브덴층(Mo)과 알루미늄층(Al)을 포함하는 다중층을 식각하기 위한 식각액에 있어서,인산 50 내지 70 중량%, 질산 10 내지 14 중량%, 초산 3 내지 9 중량%, 및 잔량의 물을 포함하는 것을 특징으로 하는 식각액.제 1항에 있어서, 상기 몰리브덴층과 상기 알루미늄층 간의 전지효과(battery effect)를 감소시키는 제1계면활성제를 3 내지 9중량% 더 포함하는 것을 특징으로 하는 식각액.제 2항에 있어서, 상기 제1계면활성제는 실록산(siloxane)계인 것을 특징으로 하는 식각액.제 1항에 있어서, 상기 몰리브

몰리브덴층(Mo)과 알루미늄층(Al)을 포함하는 다중층을 식각하기 위한 식각액에 있어서,인산 50 내지 70 중량%, 질산 10 내지 14 중량%, 초산 3 내지 9 중량%, 및 잔량의 물을 포함하는 것을 특징으로 하는 식각액.제 1항에 있어서, 상기 몰리브덴층과 상기 알루미늄층 간의 전지효과(battery effect)를 감소시키는 제1계면활성제를 3 내지 9중량% 더 포함하는 것을 특징으로 하는 식각액.제 2항에 있어서, 상기 제1계면활성제는 실록산(siloxane)계인 것을 특징으로 하는 식각액.제 1항에 있어서, 상기 몰리브덴층의 식각을 억제하는 제2계면활성제를 1 내지 3중량% 더 포함하는 것을 특징으로 하는 식각액.