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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2002-0078353 (2002-12-10) |
공개번호 | 10-2004-0050502 (2004-06-16) |
등록번호 | 10-0458285-0000 (2004-11-12) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020020078353 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2002-12-10) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 마이크로 전자기계시스템(MEMS) 기술을 이용하여 웨이퍼 표면에 감광제를 이용한 V groove 구조물을 만들어 광섬유나 미소렌즈 등의 미소 광 소자를 올려 놓을 수 있도록 하는 V-그루브(groove) 구조물 제조방법에 관한 것이다.특히, MEMS 기술을 이용하여 경사 노광이나 gray level mask를 이용한 노광을 이용하여 V groove 이외의 다른 장치가 있는 웨이퍼의 표면에 감광제를 이용하여 경사진 미소 구조물을 만들어 기존의 규소 V groove를 대체하고자 함에 그 목적이 있다.이에, 본 발명은 V gr
V groove 구조물의 제조 방법에 있어서,감광제가 도포 된 기판 위에 포토 마스크를 놓고 경사를 주어서 노광 시키되, 빛의 입사 각도를 바꾸어 두 번 노광 시킴으로써 경사면이 다른 각도를 갖는 V groove 구조물을 제조하는 것을 특징으로 하는 감광제를 이용한 V groove 구조물 제조방법.V groove 구조물의 제조 방법에 있어서,감광제가 도포 된 기판 위에 노광 되는 빛의 투과를 연속적으로 다르게 조절 하는 그레이 레벨 마스크(gray level mask)를 이용하여 노광 시키되, 노광 되는 빛을 수직 입사 시키고 마스
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