다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기
| 국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
|---|---|
| 국제특허분류(IPC8판) |
|
| 출원번호 | 10-2003-0063577 (2003-09-15) |
| 공개번호 | 10-2005-0027346 (2005-03-21) |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020030063577 |
| 발명자 / 주소 |
|
| 출원인 / 주소 |
|
| 대리인 / 주소 |
|
| 심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
| 법적상태 | 취하 |
본 발명은 반도체 제조 공정에 사용되는 습식 세정 설비의 작동 정체시 유기 세정조 내에 이소프로필 알코올을 공급하기 위한 장치 및 이 장치를 이용한 이소프로필 알코올 공급 방법에 관한 것이다. 본 발명에 의한 이소프로필 알코올 공급 장치는, 이소프로필 알코올이 수용되어 있는 이소프로필 알코올 공급실, 상기 이소프로필 알코올 공급실로부터 유기 약제를 수용하는 세정조로 이소프로필 알코올을 공급할 수 있도록 상기 이소프로필 알코올 공급실에 연결된 배관, 상기 배관 상에 설치된 매뉴얼 밸브, 및 상기 매뉴얼 밸브 후단측의 상기 배관 부분
습식 세정 설비 내에 설치되는 이소프로필 알코올 공급 장치에 있어서, 이소프로필 알코올이 수용되어 있는 이소프로필 알코올 공급실; 상기 이소프로필 알코올 공급실로부터 유기 약제를 수용하는 세정조로 이소프로필 알코올을 공급할 수 있도록 상기 이소프로필 알코올 공급실에 연결된 배관; 상기 배관 상에 설치된 매뉴얼 밸브; 및 상기 매뉴얼 밸브 후단측의 상기 배관 부분 상에 설치된 에어 밸브를 구비하고, 세정 공정 정체시 상기 세정조로부터 상기 유기 약제가 유출된 후 상기 세정조로 이소프로필 알코올을 공급하는 것을 특징으로 하는 이소프로필
Copyright KISTI. All Rights Reserved.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.