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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2003-0065826 (2003-09-23) |
공개번호 | 10-2005-0029522 (2005-03-28) |
등록번호 | 10-0841183-0000 (2008-06-18) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020030065826 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2007-04-02) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 금속이 함침된 제올라이트 흡착제가 충진된 컬럼을 이용한 NF3의 정제방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, (Ⅰ) NF3 를 포함한 기체 혼합물이 활성화된 제올라이트계 몰레큘라시브로 이루어진 흡착제층을 포함한 제 1컬럼을 통과하고, (Ⅱ) 상기 제 1컬럼을 통과한 기체 혼합물이 활성화된 니켈-구리함침 합성 제올라이트로 이루어진 흡착제층을 포함한 제 2컬럼을 통과하는, 흡착컬럼을 이용한 NF3의 정제방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 방법에 의할 경우, 까다로운 공정 없이 순도 99.99% 이상의 NF3 기체를 분리 정제
(I) NF3 를 포함한 기체 혼합물이, 가열처리에 의해 활성화된, 제올라이트계 몰레큘라시브로 이루어진 흡착제층을 포함한 제 1컬럼을 통과하는 단계; 및, (II) 상기 제 1컬럼을 통과한 기체 혼합물이, 가열처리에 의해 활성화된 니켈-구리함침 제올라이트로 이루어진 흡착제를 포함한 제 2컬럼을 통과하는 단계를 포함하는, 흡착컬럼을 이용한 NF3의 정제방법.
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