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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2003-0102009 (2003-12-31) |
공개번호 | 10-2005-0071126 (2005-07-07) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020030102009 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2007-03-06) |
심사진행상태 | 거절결정(일반) |
법적상태 | 거절 |
본 발명은 파티클 생성 및 웨이퍼의 슬라이딩 현상을 방지하기 위해 예비 코팅을 이용하는 파티클 방지 방법에 관한 것이다. 본 발명의 예비 코팅을 이용한 파티클 방지 방법은 CVD 챔버에 새로운 히터를 장착하는 단계; 및 상기 새로운 히터의 표면 예비 코팅층을 형성하기 위해 제1펌프, 제1코팅, 제1퍼지, 제2코팅, 제2퍼지 및 제2펌프로 2단계 코팅하는 단계를 포함하여 이루어짐에 기술적 특징이 있다. 따라서, 본 발명의 예비 코팅을 이용한 파티클 방지 방법은 예비 코팅 방법 개선
예비 코팅을 이용한 파티클 방지 방법에 있어서, CVD 챔버에 새로운 히터를 장착하는 단계; 및 상기 새로운 히터의 표면 예비 코팅층을 형성하기 위해 제1펌프, 제1코팅, 제1퍼지, 제2코팅, 제2퍼지 및 제2펌프로 2단계 코팅하는 단계 를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 예비 코팅을 이용한 파티클 방지 방법.
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