초록 ▼

본 발명은 반도체 제조공정시 웨이퍼를 클램핑하는 정전척에 관한 것이다. 본 발명에 따른 상기 정전척은, 웨이퍼가 직접 로딩되는 부분인 플레이트부를 오링을 이용하여 정전척의 바디부(본체)에 연결함을 특징으로 한다. 따라서, 반도체 디바이스 제조를 위한 여러 단위 공정이 진행되는 과정에서 세라믹등으로 이루어진 상기 플레이트부가 깨지거나 크렉(CRACK)이 발생되거나 아킹(ARCING)등의 불량이 발생되었을 경우 정전척 전체가 아닌 불량이 발생된 상기 플레이트부만을 따로 분리하여 교체할 수 있다. 이처럼, 본 발명에 따른 정전척은 불량이

본 발명은 반도체 제조공정시 웨이퍼를 클램핑하는 정전척에 관한 것이다. 본 발명에 따른 상기 정전척은, 웨이퍼가 직접 로딩되는 부분인 플레이트부를 오링을 이용하여 정전척의 바디부(본체)에 연결함을 특징으로 한다. 따라서, 반도체 디바이스 제조를 위한 여러 단위 공정이 진행되는 과정에서 세라믹등으로 이루어진 상기 플레이트부가 깨지거나 크렉(CRACK)이 발생되거나 아킹(ARCING)등의 불량이 발생되었을 경우 정전척 전체가 아닌 불량이 발생된 상기 플레이트부만을 따로 분리하여 교체할 수 있다. 이처럼, 본 발명에 따른 정전척은 불량이 발생된 부품(플레이트부)만을 손쉽게 분리하여 교체할 수 있으므로 기료비를 월등히 절감할 수 있음은 물론 부품 수리로 인해 소요되는 시간을 크게 감소시켜 전체 생산성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.

대표청구항 ▼

반도체 제조장치에 사용되는 정전척에 있어서:전력 공급부로부터 직류 전압을 인가받아 정전력을 발생시키는 정전척 바디부|상기 정전척 바디부의 상부에 위치하며 단위 공정시 웨이퍼가 로딩되는, 정전척의 최상부를 구성하는 플레이트부| 및 상기 플레이트부를 상기 정전척 바디부에 탈부착 가능하도록 고정함으로써, 반도체 디바이스를 제조하기 위한 여러 단위 공정중 상기 플레이트부에 불량이 발생되어 교체가 필요할 경우에 정전척 전체가 아닌 불량이 발생된 상기 플레이트부만을 분리하여 교체할 수 있도록 하는 오링부를 구비함을 특징으로 하는 반도체 제조장

반도체 제조장치에 사용되는 정전척에 있어서:전력 공급부로부터 직류 전압을 인가받아 정전력을 발생시키는 정전척 바디부|상기 정전척 바디부의 상부에 위치하며 단위 공정시 웨이퍼가 로딩되는, 정전척의 최상부를 구성하는 플레이트부| 및 상기 플레이트부를 상기 정전척 바디부에 탈부착 가능하도록 고정함으로써, 반도체 디바이스를 제조하기 위한 여러 단위 공정중 상기 플레이트부에 불량이 발생되어 교체가 필요할 경우에 정전척 전체가 아닌 불량이 발생된 상기 플레이트부만을 분리하여 교체할 수 있도록 하는 오링부를 구비함을 특징으로 하는 반도체 제조장치에 사용되는 정전척.제 1 항에 있어서, 상기 오링은 플레이트부의 엣지 영역에 일정 간격으로 다수개 형성됨을 특징으로 하는 반도체 제조장치에 사용되는 정전척.제 1 항에 있어서, 상기 오링은 테프론 스크류로 형성됨을 특징으로 하는 반도체 제조장치에 사용되는 정전척.제 1 항에 있어서, 상기 플레이트부는 세라믹 재질로 이루어짐을 특징으로 하는 반도체 제조장치에 사용되는 정전척.전위차에 의해 발생되는 유전분극 현상과 정전기적 원리를 이용하여 웨이퍼를 척킹하는 정전척에 있어서, 상기 정전척의 바디부와 웨이퍼가 로딩되는 플레이트부가 오링을 통해 서로 연결되어, 상기 바디부로부터 상기 플레이트부만을 따로 분리시켜 교체할 수 있도록 한 반도체 제조장치에 사용되는 정전척.제 5 항에 있어서, 상기 오링은 플레이트부의 엣지 영역에 일정 간격으로 다수개 형성됨을 특징으로 하는 반도체 제조장치에 사용되는 정전척.제 5 항에 있어서, 상기 오링은 테프론 스크류로 형성됨을 특징으로 하는 반도체 제조장치에 사용되는 정전척.제 5 항에 있어서, 상기 플레이트부는 세라믹 재질로 이루어짐을 특징으로 하는 반도체 제조장치에 사용되는 정전척.