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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2005-0042989 (2005-05-23) |
공개번호 | 10-2006-0120812 (2006-11-28) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020050042989 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
본 발명은 반도체 소자 제조장치에 관한 것으로서, 자세하게는 오링의 마모에 의한 냉각 가스의 리크를 방지할 수 있는 정전척에 관한 것이다. 공정 챔버 내에서 웨이퍼가 놓이는 본 발명에 의한 정전척은, 상기 정전척에 체결구에 의하여 부착되는 냉각 가스 가이드와 상기 정전척 사이에 내수성과 탄성이 강한 칼레즈(KALREZ) 오링이 삽입되어 상기 냉각 가스 가이드와 상기 정전척 사이를 밀봉하고 있음을 특징으로 한다.
공정 챔버 내에서 웨이퍼가 놓이는 정전척에 있어서:상기 정전척에 체결구에 의하여 부착되는 냉각 가스 가이드와 상기 정전척 사이에 내수성과 탄성이 강한 칼레즈(KALREZ) 오링이 삽입되어 상기 냉각 가스 가이드와 상기 정전척 사이를 밀봉하고 있음을 특징으로 하는 정전척
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