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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2004-0059313 (2004-07-28) |
공개번호 | 10-2006-0010565 (2006-02-02) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020040059313 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
본 발명은 몰리브덴층(MO)과 알루미늄층(AL)을 포함하는 다중층을 식각하기 위한 식각액에 관한 것으로서, 인산 50 내지 70 중량%, 질산 10 내지 14 중량%, 초산 3 내지 9 중량%, 및 잔량의 물을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해 몰리브덴층과 알루미늄층을 포함하는 다중층을 언더컷 등이 없는 바람직한 프로파일로 형성할 수 있는 식각액이 제공된다.
몰리브덴층(Mo)과 알루미늄층(Al)을 포함하는 다중층을 식각하기 위한 식각액에 있어서,인산 50 내지 70 중량%, 질산 10 내지 14 중량%, 초산 3 내지 9 중량%, 및 잔량의 물을 포함하는 것을 특징으로 하는 식각액.제 1항에 있어서, 상기 몰리브덴층과 상기 알루미늄층 간의 전지효과(battery effect)를 감소시키는 제1계면활성제를 3 내지 9중량% 더 포함하는 것을 특징으로 하는 식각액.제 2항에 있어서, 상기 제1계면활성제는 실록산(siloxane)계인 것을 특징으로 하는 식각액.제 1항에 있어서, 상기 몰리브
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