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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2004-0078201 (2004-10-01) |
공개번호 | 10-2006-0029315 (2006-04-06) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020040078201 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
반도체 제조장비의 바텀 매치 박스 쿨링 장치가 개시되어 있다. 그러한 반도체 제조장비의 바텀 매치 박스 쿨링 장치는, 정전척의 하부에 설치된 바텀 매치 박스의 제1 벽면 하부에 설치된 외부 공기 입력용 제1 냉각 팬과, 상기 제1 벽면에 대향된 제2 벽면의 상부에 설치된 공기 출력용 제2 냉각 팬을 구비함에 의해, 상기 바텀 매치 박스 내부의 온도 상승을 억제하여 매칭 시 구동장치 및 고주파 신호 에러가 방지된다.
반도체 제조장비의 바텀 매치 박스 쿨링 장치에 있어서, 정전척의 하부에 설치된 바텀 매치 박스의 제1 벽면 하부에 설치된 외부 공기 입력용 제1 냉각 팬과, 상기 제1 벽면에 대향된 제2 벽면의 상부에 설치된 공기 출력용 제2 냉각 팬을 구비함 특징으로 하는 반도체 제조장비의 바텀 매치 박스 쿨링 장치.제1항에 있어서, 상기 바텀 매치 박스는 플라즈마 발생장비에 적용되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 바텀 매치 박스 쿨링 장치.
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