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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2004-0118212 (2004-12-31) |
공개번호 | 10-2006-0078956 (2006-07-05) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020040118212 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
본 발명은 페데스탈의 리프트핀에 관한 것으로, 공정챔버 내에 설치되어 공정을 위한 웨이퍼가 놓여지도록 된 페데스탈에 형성된 핀구멍에 삽입되어 하부에 설치된 리프트어셈블리에 의해 상하로 업, 다운되어 웨이퍼를 들어주는 리프트핀에 있어서, 상기 리프트핀은 세라믹 재질로 하고, 상기 리프트핀은 하단부가 고정되지 않고 유동적인 것으로 함으로써 리프트핀과 페데스탈의 핀구멍이 간섭하여 생기는 파티클의 발생을 방지하고 리프트핀의 변형을 방지하여 다운타임(DOWN TIME) 감소와 유지보수(PM) 횟수감소를 통한 생산성을 향상시킬 수 있는 페데스
공정챔버 내에 설치되어 공정을 위한 웨이퍼가 놓여지도록 된 페데스탈에 형성된 핀구멍에 삽입되어 하부에 설치된 리프트어셈블리에 의해 상하로 업, 다운되어 웨이퍼를 들어주는 리프트핀에 있어서, 상기 리프트핀은 세라믹 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 페데스탈의 리프트핀.
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