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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2008-0044534 (2008-05-14) |
공개번호 | 10-2009-0118630 (2009-11-18) |
등록번호 | 10-0968814-0000 (2010-07-01) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020080044534 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2008-05-14) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 리프트 핀 구조체 및 이를 구비하는 기판 처리 장치에 관한 것이다. 리프트 핀 구조체는 기판과 접촉되는 상부 핀과, 상부 핀의 하단부와 결합되는 하부 핀 및, 상부 핀과 하부 핀 사이에 제공되어, 안착된 기판의 하중을 감소시키는 완충부재를 포함한다. 이러한 리프트 핀 구조체를 구비하는 기판 처리 장치는 기판을 상하로 이동할 때, 리프트 핀에 안착되는 기판의 하중을 감소시켜서 기판의 손상을 방지할 수 있으며, 기판의 얼룩을 최소화할 수 있다.
리프트 핀 구조체에 있어서:기판과 접촉하여 상기 기판을 지지하는 상부 핀과;상기 상부 핀의 하단부와 결합되는 하부 핀 및;상기 상부 핀과 상기 하부 핀 사이에 제공되어, 상기 기판이 상기 상부 핀에 안착되면, 상기 기판의 하중을 감소시키는 완충부재를 포함하되;상기 하부 핀은 상단에 상기 상부 핀이 설치되는 체결홈을 구비하되;상기 완충부재는 상기 기판의 하중에 의해 상기 상부 핀이 상하로 이동되도록 상기 체결홈 내부에 설치되는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 구조체.
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