IPC분류정보
국가/구분 |
한국(KR)/공개특허
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 |
10-2004-7008569
(2004-06-04)
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공개번호 |
10-2005-0044685
(2005-05-12)
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국제출원번호 |
PCT/JP2002/012658
(2002-12-03)
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국제공개번호 |
WO2003049180
(2003-06-12)
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번역문제출일자 |
2004-06-04
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DOI |
http://doi.org/10.8080/1020047008569
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발명자
/ 주소 |
- 타테노,노리아키
/ 일본국 후쿠오카켄 ***-**** 기타큐슈시 고쿠라키타쿠 나카시마 *초메*반 *고 도토기키 가부시키가이샤 내
- 미야지,준
/ 일본국 후쿠오카켄 ***-**** 기타큐슈시 고쿠라키타쿠 나카시마 *초메*반 *고 도토기키 가부시키가이샤 내
- 사고,유스미
/ 일본국 도쿄도 ***-**** 후쮸시 요쓰야 *쵸메 *방 *고 아네르바 가부시키가이샤 내
- 이케다,마사요시
/ 일본국 도쿄도 ***-**** 후쮸시 요쓰야 *쵸메 *방 *고 아네르바 가부시키가이샤 내
- 카네코,카즈아키
/ 일본국 도쿄도 ***-**** 후쮸시 요쓰야 *쵸메 *방 *고 아네르바 가부시키가이샤 내
- 타카무라,토미오
/ 일본국 야마구치켄 ***-**** 오노다시 니시타카토마리 오츠카 ****반*고 쵸슈 산교 가부시키가이샤 내
- 히라야마,타다시
/ 일본국 야마구치켄 ***-**** 오노다시 니시타카토마리 오츠카 ****반*고 쵸슈 산교 가부시키가이샤 내
- 이케무라,요시유키
/ 일본국 야마구치켄 ***-**** 산요쵸 야마노이 신야마노이 **** 쵸슈산교 가부시키가이샤 신쿠 메카트로 기카이고죠 내
- 타마루,마사히코
/ 일본국 야마구치켄 ***-**** 산요쵸 야마노이 신야마노이 **** 쵸슈산교 가부시키가이샤 신쿠 메카트로 기카이고죠 내
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출원인 / 주소 |
- 캐논 아네르바 가부시키가이샤 / 일본 가나가와켄 가와사키시 아사오쿠 구리기 *쵸메 *반 *고
- 쵸슈 산교 가부시키가이샤 / 일본국 야마구치 산요오노다시 오아자야마노이 아자신야마노이 ****
- 토토 가부시키가이샤 / 일본 후쿠오카켄 기타큐슈시 고쿠라키타쿠 나카시마 *초메*반 *고
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대리인 / 주소 |
-
황의만
(HWANG, Euy Man)
-
서울 강남구 개포*동 ****-* 만성빌딩(만성국제특허법률사무소)
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심사청구여부 |
있음 (2007-11-29) |
심사진행상태 |
거절결정(일반) |
법적상태 |
거절 |
초록
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관통 누출이 없는 반도체 제조 장치용의 수냉(水冷) 가능한 고정도(高精度) 정전 척(CHUCK) 모듈을 제공한다. CU계 복합 재료에 있어서 열 팽창률이 큰 CU 및 NI와 열 팽창률이 작은 W, MO를 적절한 조성비로 함으로써, 정전 척용 알루미나 소재와 열 팽창률이 일치하는 고열전도 소재가 얻어진다. 이 복합 재료는 관통 누출이 있어, 진공 장치에는 사용되지 않지만, 단조 가공을 함으로써 관통 누출을 방지할 수 있고, 또한 수냉(水冷) 플레이트로 사용하기 위해서는 물에 대한 내식성(耐蝕性)이 중요하지만, 이것은 도금, 스퍼터
관통 누출이 없는 반도체 제조 장치용의 수냉(水冷) 가능한 고정도(高精度) 정전 척(CHUCK) 모듈을 제공한다. CU계 복합 재료에 있어서 열 팽창률이 큰 CU 및 NI와 열 팽창률이 작은 W, MO를 적절한 조성비로 함으로써, 정전 척용 알루미나 소재와 열 팽창률이 일치하는 고열전도 소재가 얻어진다. 이 복합 재료는 관통 누출이 있어, 진공 장치에는 사용되지 않지만, 단조 가공을 함으로써 관통 누출을 방지할 수 있고, 또한 수냉(水冷) 플레이트로 사용하기 위해서는 물에 대한 내식성(耐蝕性)이 중요하지만, 이것은 도금, 스퍼터링 등에 의해, NI, CR, CU 박막을 붙임으로써 개선할 수 있다.
대표청구항
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알루미나제 정전 척 플레이트와 냉각 플레이트를 접합하여 이루어지는 정전 척 모듈에 있어서, 상기 냉각 플레이트의 소재는 Cu-W, Cu-W-Ni, Cu-Mo, Cu-Mo-Ni 등의 Cu계 복합 재료를 단조(鍛造) 가공한 것인 것을 특징으로 하는 정전 척 모듈.제 1 항에 있어서, 상기 Cu계 복합 재료를 단조 가공한 냉각 플레이트는 이론(理論) 밀도비(密度比) 97% 이상으로, 제조 공정에서 5% 이상의 단조 가공이 실시되어 있는 것을 특징으로 하는 정전 척 모듈.제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 냉각 플레이트의 열 팽창률
알루미나제 정전 척 플레이트와 냉각 플레이트를 접합하여 이루어지는 정전 척 모듈에 있어서, 상기 냉각 플레이트의 소재는 Cu-W, Cu-W-Ni, Cu-Mo, Cu-Mo-Ni 등의 Cu계 복합 재료를 단조(鍛造) 가공한 것인 것을 특징으로 하는 정전 척 모듈.제 1 항에 있어서, 상기 Cu계 복합 재료를 단조 가공한 냉각 플레이트는 이론(理論) 밀도비(密度比) 97% 이상으로, 제조 공정에서 5% 이상의 단조 가공이 실시되어 있는 것을 특징으로 하는 정전 척 모듈.제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 냉각 플레이트의 열 팽창률과 알루미나제 정전 척 플레이트의 열 팽창률의 차가 2 × 10-6/℃ 이하인 것을 특징으로 하는 정전 척 모듈.제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 냉각 플레이트의 통수로(通水路) 표면에는 도금, PVD, CVD 등의 방법에 의해, Ni, Cu, Cr, Ti 또는 Sn의 박막이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 정전 척 모듈.제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 냉각 플레이트와 알루미나제 정전 척 플레이트를 접합한 후에 평면도 5㎛ 이하가 될 때까지 정전 척 플레이트 표면이 고정도(高精度) 가공되어 있는 것을 특징으로 하는 정전 척 모듈.제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 알루미나제 정전 척 플레이트 외주 하단은 언더 컷(under-cut)되고, 이 언더 컷된 부분에 연속하도록 냉각 플레이트의 외주면을 덮는 알루미나막이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 정전 척 모듈.제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 기재된 정전 척 모듈에서 냉매로서 순수(純水)를 사용하는 것을 특징으로 하는 냉각 시스템.
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