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연합인증

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에칭폐액의 처리방법에 있어서 초산, 질산 및 몰리브덴의동시 추출방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)
  • C23F-001/46
출원번호 10-2005-0039162 (2005-05-11)
공개번호 10-2005-0053559 (2005-06-08)
DOI http://doi.org/10.8080/1020050039162
발명자 / 주소
  • 김호석 / 서울 서초구 서초동 대림아크로비스타 *동 ****호
  • 김주한 / 서울 서초구 서초동 ****-* 아크로비스타 *동 ****호
  • 김주엽 / 서울 서초구 서초*동 한빛삼성아파트 ***동 ***호
  • 안재우 / 서울 강남구 대치동 ***-** 세영팔레스타운아파트 ***-***
  • 김준영 / 전남 목포시 상동 현대아파트 ***-***
  • 신창훈 / 경기 성남시 분당구 야탑동 매화마을*단지아파트 ***동 ****호
출원인 / 주소
  • 대일개발 주식회사 / 경기 안산시 단원구 성곡동 ***-*
심사청구여부 있음 (2005-05-11)
심사진행상태 거절결정(일반)
법적상태 거절

초록

본 발명은 LCD 또는 반도체 제조공정에서 배출되는 에칭폐액에서 추출제를 사용하여 초산과 질산 및 몰리브덴(MO)을 추출하고 남은 인산을 재사용하는, 에칭폐액으로부터의 용매추출법을 통한 "초산과 질산 및 몰리브덴의 추출공정"에 관한 것이다.본 발명에 따른 추출제를 통한 "초산과 질산 및 몰리브덴의 추출공정"에서는 "알킬포스포닉산(ALKYL-PHOSPHONIC ACIDS) 또는 알킬포스피닉산(ALKYL-PHOSPHINIC ACIDS)"을 사용하여 초산과 질산 및 몰리브덴(MO)을

대표청구항

각종 산과 금속의 혼합물로 이루어진 에칭폐액에서 몰리브덴을 추출하기 위하여 "알킬포스포닉산(ALKYL-PHOSPHONIC ACIDS) 또는 알킬포스피닉산(ALKYL-PHOSPHINIC ACIDS)"을 추출제로 사용하고, 이의 희석제로 알킬벤젠의 탄소수가 C8 내지 C14인 솔베소(SOLVESSO) 150, 솔베소 100, 등유(KEROSENE) 및 이들의 혼합물로 구성된 군에서 선택된 희석제를 사용하여,추출제와 희석제가 혼합된 유기상을 소정의 농도비가 되도록 접촉시키고, 균일하게 교반한 다음 정치하여 각종 산과 금

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [한국] 인산, 초산 및 질산이 혼합된 에칭폐액의 처리방법 | 안재우, 김주엽, 김준영, 신창훈, 김호석
  2. [일본] EXTRACTING METHOD FOR MOLYBDENUM | KASAI SHUNICHI, OGATA TAKASHI

이 특허를 인용한 특허 (1)

  1. [한국] 폐산액으로부터 고순도의 인산을 제조하는 방법 | 김호석, 김주엽, 신창훈
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