최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
---|---|
국제특허분류(IPC9판) |
|
출원번호 | 10-2005-0081802 (2005-09-02) |
공개번호 | 10-2007-0025525 (2007-03-08) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020050081802 |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
심사진행상태 | 거절결정(일반) |
법적상태 | 거절 |
본 발명은 반도체 제조에 사용되는 기재의 온도를 일정 이하로 제한하면서 반도체 장치를 제조할 수 있도록 된 반도체 기재의 냉각기능을 갖춘 반도체 제조장치에 관한 것이다. 본 발명은 반도체 기판상에 박막을 형성하는데 사용되는 반도체 장치의 제조장치에 있어서, 박막처리가 실행되는 용기와, 상기 용기내에 설치되어 반도체 기판을 장착하기 위한 서셉터 및, 상기 반도체 기판을 서셉터에 장착하였을 때, 상기 반도체 기판의 배면측에 설치되어 반도체 기판의 온도를 조절하는 온도조절부재를 구비하여 구성된 것을 특징으로 한다.
반도체 기판상에 박막을 형성하는데 사용되는 반도체 장치의 제조장치에 있어서,박막처리가 실행되는 용기와,상기 용기내에 설치되어 반도체 기판을 장착하기 위한 서셉터 및,상기 반도체 기판을 서셉터에 장착하였을 때, 상기 반도체 기판의 배면측에 설치되어 반도체 기판의 온도를 조절하는 온도조절부재를 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 기재의 냉각기능을 갖춘 반도체 제조장치.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.