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| 국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
|---|---|
| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2006-0015212 (2006-02-16) |
| 공개번호 | 10-2007-0082409 (2007-08-21) |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020060015212 |
| 발명자 / 주소 |
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| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
| 법적상태 | 취하 |
본 발명은 웨이퍼 로딩의 안정성 여부를 감지할 수 있는 웨이퍼 이송 로봇에 관한 것이다. 본 발명은 로봇 암의 탑사이드에 센서가 마련되어 상기 센서가 상기 로봇 암에 로딩되는 웨이퍼의 정위치 여부를 감지하는 것을 특징으로 한다. 이에 따르면, 로봇 암의 탑사이드에 2개의 근접센서가 장착되어 있어 웨이퍼 로딩의 안정성을 감지할 수 있게 됨으로써, 웨이퍼가 슬라이딩되어 원위치를 벗어나더라도 근접센서가 웨이퍼의 벗어난 상태를 감지하기 때문에 웨이퍼의 파손을 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다.
로봇 암의 탑사이드에 센서가 마련되어 상기 센서가 상기 로봇 암에 로딩되는 웨이퍼의 정위치 여부를 감지하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 로봇.
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