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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2006-0066481 (2006-07-14) |
등록번호 | 10-0727851-0000 (2007-06-07) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020060066481 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2006-07-14) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 약액을 혼합하는 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 기판에 잔류하는 폴리머를 제거하는 디에스피 약액을 혼합하는 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 약액 혼합 방법은 초순수 및 과산화수소를 동시에 혼합 용기에 공급하고, 이후에 황산 및 불산을 동시에 상기 혼합 용기에 공급한 후, 상기 혼합 용기 내부로 공급된 초순수, 과산화수소, 황산, 그리고 불산을 혼합시켜 40℃이항의 디에스피 약액을 제조한다. 따라서, 본 발명에 따른 약액 혼합 장치 및 방법은 디에스피 약액을 제조시 발생되는 열을 공정 온
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