서울시 강남구 역삼동 ***-**번지 테라빌*층(고려국제특허법률사무소);
서울특별시 강남구 역삼동 ***-** *층 고려국제특허법률사무소;
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심사청구여부
있음 (2006-11-03)
심사진행상태
등록결정(일반)
법적상태
소멸
초록▼
본 발명은 단위 시간 생산량을 산출하는 반도체 제조 설비 및 그 방법에 관한 것이다. 반도체 제조 설비는 설비 특성에 따른 다양한 변수에 대응하여 단위 시간 생산량을 산출하기 위하여, 챔버의 개수와, 공정 시간과, 이송 로봇의 이송 시간과, 웨이퍼 이송 중 발생되는 손실 시간을 포함하는 변수를 산출하여 수식화하고, 수식화된 변수들의 데이터를 이용하여 반도체 제조 설비의 단위 시간 생산량을 산출한다. 따라서 본 발명에 의하면, 실제 웨이퍼 이송없이 설비의 제작 전에 단위 시간 생산량을 산출할 수 있으며, 제작하고자 하는 설비의 특성을
본 발명은 단위 시간 생산량을 산출하는 반도체 제조 설비 및 그 방법에 관한 것이다. 반도체 제조 설비는 설비 특성에 따른 다양한 변수에 대응하여 단위 시간 생산량을 산출하기 위하여, 챔버의 개수와, 공정 시간과, 이송 로봇의 이송 시간과, 웨이퍼 이송 중 발생되는 손실 시간을 포함하는 변수를 산출하여 수식화하고, 수식화된 변수들의 데이터를 이용하여 반도체 제조 설비의 단위 시간 생산량을 산출한다. 따라서 본 발명에 의하면, 실제 웨이퍼 이송없이 설비의 제작 전에 단위 시간 생산량을 산출할 수 있으며, 제작하고자 하는 설비의 특성을 테스트 및 확인하기가 용이하다.
대표청구항▼
반도체 제조 설비에 있어서:공정을 처리하는 적어도 하나의 챔버와;웨이퍼를 공급, 회수하는 적어도 하나의 로드 포트와;웨이퍼를 정렬하는 얼라이너와;공정 처리된 웨이퍼를 검사하는 인스펙터와;적어도 하나의 이송 로봇을 구비하여 상기 챔버와, 상기 로드 포트와, 상기 얼라이너 및 상기 인스펙터 간에 웨이퍼를 이송하는 트랜스퍼 챔버 및;상기 챔버의 개수와, 상기 챔버와 상기 얼라이너 및 상기 인스펙터의 공정 시간과, 상기 이송 로봇의 이송 시간과, 웨이퍼 이송 중 발생되는 손실 시간을 포함하는 변수를 산출하여 수식화하고, 상기 수식화된 변수
반도체 제조 설비에 있어서:공정을 처리하는 적어도 하나의 챔버와;웨이퍼를 공급, 회수하는 적어도 하나의 로드 포트와;웨이퍼를 정렬하는 얼라이너와;공정 처리된 웨이퍼를 검사하는 인스펙터와;적어도 하나의 이송 로봇을 구비하여 상기 챔버와, 상기 로드 포트와, 상기 얼라이너 및 상기 인스펙터 간에 웨이퍼를 이송하는 트랜스퍼 챔버 및;상기 챔버의 개수와, 상기 챔버와 상기 얼라이너 및 상기 인스펙터의 공정 시간과, 상기 이송 로봇의 이송 시간과, 웨이퍼 이송 중 발생되는 손실 시간을 포함하는 변수를 산출하여 수식화하고, 상기 수식화된 변수들의 데이터를 이용하여 상기 반도체 제조 설비의 단위 시간 생산량을 산출하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비.제 1 항에 있어서,상기 제어부는;상기 단위 시간 생산량을 [ 3600 / ( 공정 시간 + 손실 시간 )] * 챔버수에 의해 산출하되, 상기 공정 시간, 상기 손실 시간은 초 단위인 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비.제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 제어부는;상기 변수들을 고려하기 위해 상기 이송 로봇의 TACT 시간에 의한 1 사이클 타임과, 상기 챔버의 공정 시간 및, 상기 손실 시간을 산출하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비.제 3 항에 있어서,상기 1 사이클 타임은 상기 챔버로 웨이퍼 인출 및 로딩에 대한 TACT 시간과, 상기 얼라이너의 TACT 시간과, 상기 인스펙터의 TACT 시간 및, 상기 로드 포트의 TACT 시간을 합한 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비.제 3 항에 있어서,상기 챔버의 공정 시간은 상기 챔버에서 공정을 진행하는데 기본적으로 필요한 펌프 스텝(PUMP STEP), 에칭 스텝(ETCH STEP) 및, 벤트 스텝(VENT STEP)의 소요 시간을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비.제 3 항에 있어서,상기 손실 시간은 상기 챔버 앞에서 상기 이송 로봇이 대기하는 시간과, 상기 이송 로봇의 이송 구간 별로 대기하는 시간들을 포함하되;상기 공정 시간과, 상기 이송 시간의 차이에 의해 발생되는 손실 시간을 산출하기 위하여, 상기 공정 시간이 상기 1 사이클 타임과 상기 챔버수의 곱 보다 클 경우, 상기 챔버에서의 인출 및 로딩 시간과 상기 챔버의 도어 오픈 시간을 합하고, 또 상기 공정 시간이 상기 1 사이클 타임과 상기 챔버수의 곱 보다 작을 경우, 상기 1 사이클 타임과 상기 챔버 수의 곱에서 상기 공정 시간을 감산하여 산출고, 또 상기 얼라이너 및 상기 인스펙터에서 실행되는 처리 시간이 상기 1 사이클 타임 보다 클 경우, 상기 얼라이너 및 상기 인스펙터의 처리 시간에서 상기 1 사이클 타임을 감산하여 계산하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비.반도체 제조 설비의 단위 시간 생산량을 산출하는 방법에 있어서:상기 반도체 제조 설비의 제작 환경에 따른 다양한 변수를 산출하고; 상기 산출된 변수를 적용하여 단위 시간 생산량을 수식화하고; 이어서상기 수식화된 단위 시간 생산량을 산출하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 단위 시간 생산량 산출 방법.제 7 항에 있어서,상기 변수는 상기 반도체 제조 설비의 챔버수, 이송 로봇의 이송 시간을 이용한 1 사이클 타임(CYCLE TIME), 손실 시간 및, 공정 시간을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 단위 시간 생산량 산출 방법.제 6 항 또는 제 7 항에 있어서,상기 단위 시간 생산량은 [ 3600 / ( 공정 시간 + 손실 시간 )] * 챔버수이며, 상기 공정 시간, 상기 손실 시간은 초 단위인 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 단위 시간 생산량 산출 방법.
발명자의 다른 특허 :
연구과제 타임라인
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이 특허에 인용된 특허 (2)
[한국]
반도체 설비에서 공정 진행 표준 시간 산출 방법 및 이를수행하기 위한 장치 |
김정환
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