초록 ▼

피세정물(10)을 초음파 세정하기 위한 세정장치로서, 적어도 초음파 진동을 발생하는 초음파 진동자(3), 상기 초음파 진동자가 장착되고, 상기 초음파 진동이 인가된 세정액(9)과 피세정물을 접촉시키는 수단(2)을 구비하고, 상기 초음파 진동자가 상기 초음파 진동자가 장착된 면에 대해 가로 방향의 초음파 진동을 부여하고, 상기 초음파 진동을 상기 세정액에 인가하여 상기 피세정물을 세정하는 것을 특징으로 하는 초음파 세정장치(1)가 제공된다.이로 인해, 반도체 웨이퍼, 포토마스크 기판, 액정기판 등 손상을 받기 쉬운 기판이라도 기판 자

피세정물(10)을 초음파 세정하기 위한 세정장치로서, 적어도 초음파 진동을 발생하는 초음파 진동자(3), 상기 초음파 진동자가 장착되고, 상기 초음파 진동이 인가된 세정액(9)과 피세정물을 접촉시키는 수단(2)을 구비하고, 상기 초음파 진동자가 상기 초음파 진동자가 장착된 면에 대해 가로 방향의 초음파 진동을 부여하고, 상기 초음파 진동을 상기 세정액에 인가하여 상기 피세정물을 세정하는 것을 특징으로 하는 초음파 세정장치(1)가 제공된다.이로 인해, 반도체 웨이퍼, 포토마스크 기판, 액정기판 등 손상을 받기 쉬운 기판이라도 기판 자체에 손상을 입히지 않고 초음파 세정할 수 있게 된다.

대표청구항

피세정물을 초음파 세정하기 위한 세정장치에 있어서, 적어도, 초음파 진동을 발생하는 초음파 진동자와, 상기 초음파 진동자가 장착되고, 상기 초음파 진동이 인가된 세정액과 피세정물을 접촉시키는 수단을 구비하고, 상기 초음파 진동자가 상기 초음파 진동자가 장착된 면에 대해 가로방향의 초음파 진동을 부여하고, 상기 초음파 진동을 상기 세정액에 인가하여 상기 피세정물을 세정하는 것임을 특징으로 하는 초음파 세정장치.

피세정물을 초음파 세정하기 위한 세정장치에 있어서, 적어도, 초음파 진동을 발생하는 초음파 진동자와, 상기 초음파 진동자가 장착되고, 상기 초음파 진동이 인가된 세정액과 피세정물을 접촉시키는 수단을 구비하고, 상기 초음파 진동자가 상기 초음파 진동자가 장착된 면에 대해 가로방향의 초음파 진동을 부여하고, 상기 초음파 진동을 상기 세정액에 인가하여 상기 피세정물을 세정하는 것임을 특징으로 하는 초음파 세정장치.