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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2007-0010727 (2007-02-01) |
공개번호 | 10-2008-0072239 (2008-08-06) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020070010727 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
본 발명은 나사의 머리부에 캡을 씌움으로서 공정 챔버 내에서의 아킹 (arcking)현상을 방지할 수 있는 플라즈마 처리장치에 관한 것이다.본 발명에 따른 플라즈마 처리장치는, 플라즈마가 발생하는 공정 챔버와, 공정 챔버 내에 배치된 절연 부재와, 절연 부재 상부에 배치되어 기판을 고정시키고 절연 부재와 결합시키기 위한 체결홈이 형성된 정전척과, 체결홈을 통해 정전척과 절연 부재를 결합하는 체결 부재, 및 체결홈 내에 배치되어 체결 부재 상부를 덮어서 체결 부재와 플라스마 간의 아킹 현상을 방지하는 캡을 포함한다.
플라즈마가 발생하는 공정 챔버;상기 공정 챔버 내에 배치된 절연 부재;상기 절연 부재 상부에 배치되어 기판을 고정시키며, 상기 절연 부재와 결합시키기 위한 체결홈이 형성된 정전척;상기 체결홈을 통하여 상기 정전척과 상기 절연 부재를 결합하는 체결 부재; 및상기 체결홈 내에 배치되어 상기 체결 부재의 상부를 덮어서 상기 체결 부재에 아킹 현상이 발생되는 것을 방지하는 캡을 포함하는 플라즈마 처리장치.제1 항에 있어서,상기 체결 부재는 나사로 이루어지고, 상기 체결홈은 나사홈으로 이루어진 플라즈마 처리장치.제1 항에 있어서,상기 체결
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