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연합인증

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정전척 및 정전척 제조방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/683
출원번호 10-2015-0074201 (2015-05-27)
공개번호 10-2016-0139459 (2016-12-07)
DOI http://doi.org/10.8080/1020150074201
발명자 / 주소
  • 이충선 / 경기도 수원시 영통구 중부대로***번길 **-*, ***동 ****호 (원천동, 주공아파트)
출원인 / 주소
  • 인베니아 주식회사 / 경기도 성남시 중원구 갈마치로 *** (상대원동)
대리인 / 주소
  • 인비전 특허법인
심사진행상태 취하(심사미청구)
법적상태 취하

초록 ▼

본 발명은 정전척 및 정전척 제조방법에 관한 것으로, 알루미늄 몸체, 상기 알루미늄 몸체 상면에 코팅된 하부 절연층, 상기 하부 절연층 상부에 배치되고, 상측을 향하여 복수개의 돌출 형상의 패턴이 형성된 금속 전극층, 상기 금속 전극층 상부에 배치되고, 상기 금속 전극층의 상기 돌출 형상의 패턴과 대응하는 형상을 구비하는 알루미늄층 및 상기 알루미늄층을 아노다이징 처리하여 형성하고, 상기 알루미늄층의 상기 형상과 대응되는 형상을 가지는 패턴 절연층를 포함할 수 있다.본 발명에 따른 정전척 및 정전척 제조방법은 정전척 내부와 상측에

대표청구항

알루미늄 몸체;상기 알루미늄 몸체 상면에 코팅된 하부 절연층;상기 하부 절연층 상부에 배치되고, 상측을 향하여 복수개의 돌출 형상의 패턴이 형성된 금속 전극층;상기 금속 전극층 상부에 배치되고, 상기 금속 전극층의 상기 돌출 형상의 패턴과 대응하는 형상을 구비하는 알루미늄층; 및 상기 알루미늄층을 아노다이징 처리하여 형성하고, 상기 알루미늄층의 상기 형상과 대응되는 형상을 가지는 패턴 절연층를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전척.

이 특허를 인용한 특허 (1)

  1. [한국] 정전척 | 정병진, 이지선, 최은정, 김순훈, 장태범
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