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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2007-0014564 (2007-02-12) |
공개번호 | 10-2007-0038476 (2007-04-10) |
등록번호 | 10-0842060-0000 (2008-06-23) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020070014564 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2007-02-12) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 뒤틀림(WARPAGE) 등으로 변형된 웨이퍼를 평평하게 교정한 상태로 가열 또는 냉각할 수 있게 하는 웨이퍼 교정 장치를 갖는 반도체 가열 및 냉각 시스템에 관한 것으로서, 웨이퍼가 안착되고, 안착된 웨이퍼를 가열 또는 냉각시키도록 히터 또는 냉각라인이 설치되는 열전달 몸체; 상기 열전달 몸체를 둘러싸고, 상기 웨이퍼의 가공 환경을 조성하는 챔버; 및 상기 챔버에 설치되고, 상기 열전달 몸체에 안착된 웨이퍼의 뒤틀림을 교정할 수 있도록 상기 웨이퍼와 접촉되어 상기 웨이퍼를 평평하게 바로 잡아 주는 적어도 하나 이상의 웨이
웨이퍼가 안착되고, 안착된 웨이퍼를 가열 또는 냉각시키도록 히터 또는 냉각라인이 설치되는 열전달 몸체;상기 열전달 몸체를 둘러싸고, 상기 웨이퍼의 가공 환경을 조성하는 챔버; 및상기 챔버에 설치되고, 상기 열전달 몸체에 안착된 웨이퍼의 뒤틀림을 교정할 수 있도록 상기 웨이퍼와 접촉되어 상기 웨이퍼를 평평하게 바로 잡아 주는 적어도 하나 이상의 웨이퍼 교정 장치;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 교정 장치를 갖는 반도체 가열 및 냉각 시스템.
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