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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2007-0032000 (2007-03-30) |
등록번호 | 10-0829166-0000 (2008-05-06) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020070032000 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2007-03-30) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 MEMS 가속도 센서에 관한 것으로서, 특히 유체의 열대류를 이용하여 가속도를 측정하기 위한 것으로서, 기판; 상기 기판상에 배치되며, 인가되는 전류에 의해 발열하는 발열체; 상기 기판상에 상기 발열체와 이웃하게 배치되며, 상기 유체의 온도를 측정하기 위한 열전쌍; 상기 기판에 마련되며, 상기 열전쌍 및 발열체의 하부로 유체를 통과시킬 수 있는 공동; 및 유체와 접촉하는 면적이 넓어지도록, 상면과, 상기 상면으로부터 함몰되게 형성되며 그 상면 전체에 걸쳐 배열되는 다수의 세공(pore)을 가지며, 상기 발열체의 상측에 형
유체의 열대류를 이용하여 가속도를 측정하기 위한 것으로서,기판;상기 기판상에 배치되며, 인가되는 전류에 의해 발열하는 발열체;상기 기판상에 상기 발열체와 이웃하게 배치되며, 상기 유체의 온도를 측정하기 위한 열전쌍;상기 기판에 마련되며, 상기 열전쌍 및 발열체의 하부로 유체를 통과시킬 수 있는 공동; 및 유체와 접촉하는 면적이 넓어지도록, 상면과, 상기 상면으로부터 함몰되게 형성되며 그 상면 전체에 걸쳐 배열되는 다수의 세공(PORE)을 가지며, 상기 발열체의 상측에 형성되는 나노 구조체;를 포함하는 것을 특징으로 하는 MEMS 가
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