초록 ▼

MEMS 펌프는, 기초 구조물, 기초 구조물에 대향하고 기초 구조물의 표면 법선에 대해 평행하게 편향가능한 멤브레인 구조물을 포함하고, 기초 구조물과 멤브레인 구조물 사이에 펌프 챔버를 포함하며, 여기서 펌프 챔버의 체적은 기초 구조물에 대한 멤브레인 구조물의 위치에 기초한다.MEMS 펌프는 유체가 펌프 챔버 내로 통과하거나 펌프 챔버를 빠져 나가게 하도록 구성된 통로를 포함하고, 여기서, 통로는 펌프 챔버에 대해 평면내(in-plane) 배열된다.MEMS 펌프는, 통로에 유체 결합(fluidically coupled)되고 제1 상

MEMS 펌프는, 기초 구조물, 기초 구조물에 대향하고 기초 구조물의 표면 법선에 대해 평행하게 편향가능한 멤브레인 구조물을 포함하고, 기초 구조물과 멤브레인 구조물 사이에 펌프 챔버를 포함하며, 여기서 펌프 챔버의 체적은 기초 구조물에 대한 멤브레인 구조물의 위치에 기초한다.MEMS 펌프는 유체가 펌프 챔버 내로 통과하거나 펌프 챔버를 빠져 나가게 하도록 구성된 통로를 포함하고, 여기서, 통로는 펌프 챔버에 대해 평면내(in-plane) 배열된다.MEMS 펌프는, 통로에 유체 결합(fluidically coupled)되고 제1 상태에서는 통로를 제1 외부 체적에 접속하여 유체를 펌프 챔버에 제공하고 제2 상태에서는 통로를 제2 외부 체적에 접속하여 유체를 제2 외부 체적에 제공하도록 구성된 밸브 구조물을 포함한다.

대표청구항 ▼

MEMS 펌프로서,기초 구조물(12);상기 기초 구조물(12)에 대향하고 상기 기초 구조물(12)의 표면 법선(N)에 대해 평행하게 편향가능한 멤브레인 구조물(14); 상기 기초 구조물(12)과 상기 멤브레인 구조물 (14) 사이의 펌프 챔버(16), ―상기 펌프 챔버(16)의 체적은 상기 기초 구조물(12)에 대한 상기 멤브레인 구조물(14)의 위치에 기초함―; 상기 펌프 챔버(16) 내로 유체(22)를 통과시키거나 상기 펌프 챔버(16)를 빠져 나가게 하도록 구성된 통로(18), ―상기 통로(18)는 상기 펌프 챔버(16)에 대

MEMS 펌프로서,기초 구조물(12);상기 기초 구조물(12)에 대향하고 상기 기초 구조물(12)의 표면 법선(N)에 대해 평행하게 편향가능한 멤브레인 구조물(14); 상기 기초 구조물(12)과 상기 멤브레인 구조물 (14) 사이의 펌프 챔버(16), ―상기 펌프 챔버(16)의 체적은 상기 기초 구조물(12)에 대한 상기 멤브레인 구조물(14)의 위치에 기초함―; 상기 펌프 챔버(16) 내로 유체(22)를 통과시키거나 상기 펌프 챔버(16)를 빠져 나가게 하도록 구성된 통로(18), ―상기 통로(18)는 상기 펌프 챔버(16)에 대해 평면내 배열됨―; 및 상기 통로(18)에 유체 결합되고 제1 상태에서는 상기 통로(18)를 제1 외부 체적(321)에 접속하여 상기 유체(22)를 상기 펌프 챔버(16)에 제공하고 제2 상태에서는 상기 통로(18)를 제2 외부 체적(322)에 접속하여 상기 유체(22)를 상기 제2 외부 체적(322)에 제공하도록 구성된 밸브 구조물(28)을 포함하는 MEMS 펌프.