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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2008-0095993 (2008-09-30) |
공개번호 | 10-2010-0036659 (2010-04-08) |
등록번호 | 10-0978236-0000 (2010-08-20) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020080095993 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2008-09-30) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 웨이퍼 이송 로봇에 관한 것이다.본 발명에 따르면, 웨이퍼를 로드락 챔버와 공정 챔버에 로딩 또는 언로딩하기 위해 이송 챔버 내에 설치되는 것으로, 이송 챔버 내에 설치된 로봇 몸체; 로봇 몸체의 상부에서 동일 평면 상에 좌우로 배치되며, 신축 가능하게 각각 형성된 제1,2 아암; 제1,2 아암의 상부에서 동일 평면 상에 좌우로 배치되며, 신축 가능하게 각각 형성된 제3,4 아암; 제1 내지 제4 아암을 독립되게 신축시키기 위한 제1,2,3,4 엑추에이터; 제1,2 아암 중 하나와 제3,4 아암 중 하나를 공히 회전시키고
웨이퍼를 로드락 챔버와 공정 챔버에 로딩 또는 언로딩하기 위해 이송 챔버 내에 설치되는 것으로, 상기 이송 챔버 내에 설치된 로봇 몸체; 상기 로봇 몸체의 상부에서 동일 평면 상에 좌우로 배치되며, 신축 가능하게 각각 형성된 제1,2 아암; 상기 제1,2 아암의 상부에서 동일 평면 상에 좌우로 배치되며, 신축 가능하게 각각 형성된 제3,4 아암; 상기 제1 내지 제4 아암을 독립되게 신축시키기 위한 제1,2,3,4 엑추에이터; 상기 제1,2 아암 중 하나와 상기 제3,4 아암 중 하나를 공히 회전시키고, 나머지 아암들을 공히 회전시
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