다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기
| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
|---|---|
| 국제특허분류(IPC9판) |
|
| 출원번호 | 10-2009-0027941 (2009-04-01) |
| 등록번호 | 10-0956418-0000 (2010-04-28) |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020090027941 |
| 발명자 / 주소 | |
| 출원인 / 주소 |
|
| 대리인 / 주소 |
|
| 심사청구여부 | 있음 (2009-04-01) |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) |
| 법적상태 | 소멸 |
본 발명은 웨이퍼 척에 관한 것으로, 본 발명에 따르면 웨이퍼의 상측에 위치하는 제 1바디부재; 및 웨이퍼를 수용하기 위한 수용공간이 마련되어 있으며, 상기 제 1바디부재의 하측에 결합된 제 2바디부재; 를 포함하며, 상기 제 2바디부재에는 상기 수용공간에 수용되는 웨이퍼의 상측의 제1공간에서 제1방향으로 선회하는 선회기류층과 상기 웨이퍼의 하측의 제2공간에서 제2방향으로 선회하는 선회기류층을 형성시키기 위하여 외부로부터 유입되는 기체를 안내하는 안내유로가 마련되어 있기 때문에 웨이퍼 척과 웨이퍼와의 접촉 및 웨이퍼의 휨변형이 억제
웨이퍼(W)의 상측에 위치하는 제 1바디부재(100); 및웨이퍼(W)를 수용하기 위한 수용공간(S1,S2)이 마련되어 있으며, 상기 제 1바디부재(100)의 하측에 결합된 제 2바디부재(200); 를 포함하며, 상기 제 2바디부재(200)에는 상기 수용공간(S1,S2)에 수용되는 웨이퍼(W)의 상측의 제1공간(S1)에서 제1방향으로 선회하는 선회기류층과 상기 웨이퍼(W)의 하측의 제2공간(S2)에서 제2방향으로 선회하는 선회기류층을 형성시키기 위하여 외부로부터 유입되는 기체를 안내하는 안내유로(220)가 마련된 것을 특징으로 하는
해당 특허가 속한 카테고리에서 활용도가 높은 상위 5개 콘텐츠를 보여줍니다.
더보기 버튼을 클릭하시면 더 많은 관련자료를 살펴볼 수 있습니다.
Copyright KISTI. All Rights Reserved.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.