[특허]줄 가열을 이용한 증착 장치 및 방법

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줄 가열을 이용한 증착 장치 및 방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC9판)	H01L-021/20
출원번호	10-2009-0074436 (2009-08-12)
공개번호	10-2011-0016768 (2011-02-18)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020090074436
발명자 / 주소	노재상 / 서울 용산구 용산동가 - 파크타워 *-* 홍원의 / 서울 금천구 가산동 **- 디지털드림 ****호
출원인 / 주소	주식회사 엔씰텍 / 서울특별시 금천구 가산동 **- 아이티캐슬 동 호 ~ *호
대리인 / 주소	특허법인 신지; 문호지; 유경열; 박진석
심사청구여부	있음 (2009-08-12)
심사진행상태	거절결정(일반)
법적상태	거절

초록 ▼

진공 환경에서 순간적인 줄 가열을 이용하여 기판에 박막을 패턴닝하는 줄 가열을 이용한 증착 장치 및 방법이 개시된다. 도전층 형성부는 소스기판의 일면에 도전층을 형성시킨다. 격벽층 형성부는 증착하려는 패턴으로 도전층을 향해 요입부를 갖는 격벽층을 도전층에 형성시키며, 증착 대상물층 형성부는 격벽층에 증착 대상물층을 형성시킨다. 또한, 타겟기판은 소스기판과 대향되게 배치되며, 전원공급부는 도전층에 전원을 인가하여 도전층을 발열시킨다. 따라서, 증착 장치의 구성이 매우 간단해지며, 증착 두께를 균일하게 형성하는 것이 용이해진다. 또한,

대표청구항

소스기판;상기 소스기판의 일면에 도전층을 형성시키는 도전층 형성부;상기 도전층에, 증착하려는 패턴으로 상기 도전층을 향해 요입부를 갖는 격벽층을 형성시키는 격벽층 형성부;상기 격벽층에 증착 대상물층을 형성시키는 증착 대상물층 형성부;상기 소스기판과 대향되게 배치되는 타겟기판; 및상기 도전층에 전원을 인가하여 상기 도전층을 발열시키는 전원공급부;를 포함하는 줄 가열을 이용한 증착 장치.

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IPC 상위 출원인

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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