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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2009-0110437 (2009-11-16) | |
공개번호 | 10-2011-0053768 (2011-05-24) | |
등록번호 | 10-1678050-0000 (2016-11-15) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020090110437 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2014-11-05) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 가상의 마스크의 패턴을 기판에 형성시키는 마스크리스 노광 장치에 있어서, 기판이 장착되는 이동부; 광을 출력하는 광원부; 광원부의 광을 패턴을 형성하는 복수 스폿 빔으로 분할하여 이동부로 투영하는 투영부; 기판과 가상의 마스크의 정렬을 위한 정렬광을 출력하는 정렬부; 복수 스폿 빔과 정렬광을 촬상하는 빔 촬상부; 촬상된 정렬광과 적어도 두 개의 스폿 빔의 거리를 측정하고, 측정된 거리에 따라 가상의 마스크와 기판의 정렬 상태를 판단하여 이동부의 이동을 제어하는 제어부를 포함한다.본 발명은 오프 액시스 정렬을 이용하여 마스
가상의 마스크의 패턴을 기판에 형성시키는 오프 액시스 정렬을 이용한 마스크리스 노광 장치에 있어서,상기 기판이 장착되는 이동부;광을 출력하는 광원부;상기 광원부의 광을 상기 패턴을 형성하는 복수 스폿 빔으로 분할하여 상기 이동부로 투영하는 투영부;상기 기판과 가상의 마스크의 정렬을 위한 정렬광을 출력하는 정렬부;상기 복수 스폿 빔과 상기 정렬광을 촬상하는 빔 촬상부;상기 촬상된 상기 정렬광과 적어도 두 개의 스폿 빔의 거리를 측정하고, 측정된 거리에 따라 상기 가상의 마스크와 기판의 정렬 상태를 판단하여 상기 이동부의 이동을 제어하
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