초록 ▼

본 발명은 웨이퍼 검사장비에서 벨트 방식으로 웨이퍼를 이송하는 경우 그 이송 반복도를 개선할 수 있는 웨이퍼 이송장치에 관한 것이다. 본 발명은 벨트 이송장치를 이용하여 웨이퍼를 이송하는 경우에 웨이퍼 간의 공급 간격과 벨트의 길이를 동일하게 설정하여, 웨이퍼들이 맞닿는 벨트 접촉면의 위치를 항상 일정하게 하는 새로운 형태의 웨이퍼 이송 방식을 구현함으로써, 웨이퍼의 이송 반복도를 높일 수 있으며, 이에 따라 검사의 정밀도를 크게 향상시킬 수 있는 한편, 벨트 이송장치의 동력원인 구동 모터에 배터리가 내장되어 있는 모터 인코더를 적

본 발명은 웨이퍼 검사장비에서 벨트 방식으로 웨이퍼를 이송하는 경우 그 이송 반복도를 개선할 수 있는 웨이퍼 이송장치에 관한 것이다. 본 발명은 벨트 이송장치를 이용하여 웨이퍼를 이송하는 경우에 웨이퍼 간의 공급 간격과 벨트의 길이를 동일하게 설정하여, 웨이퍼들이 맞닿는 벨트 접촉면의 위치를 항상 일정하게 하는 새로운 형태의 웨이퍼 이송 방식을 구현함으로써, 웨이퍼의 이송 반복도를 높일 수 있으며, 이에 따라 검사의 정밀도를 크게 향상시킬 수 있는 한편, 벨트 이송장치의 동력원인 구동 모터에 배터리가 내장되어 있는 모터 인코더를 적용함으로써, 전원이 차단된 이후에도 벨트 풀리의 회전량을 상시 기억할 수 있도록 한 웨이퍼 검사장비의 웨이퍼 이송장치를 제공한다.

대표청구항

벨트 구동방식의 이송장치로서, 비전의 검사 영역에 배치되는 벨트 이송장치의 벨트 길이를 웨이퍼 공급 간격과 동일하게 설정하여, 웨이퍼들이 맞닿는 벨트 접촉면의 위치가 항상 일정하게 될 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장비의 웨이퍼 이송장치.

벨트 구동방식의 이송장치로서, 비전의 검사 영역에 배치되는 벨트 이송장치의 벨트 길이를 웨이퍼 공급 간격과 동일하게 설정하여, 웨이퍼들이 맞닿는 벨트 접촉면의 위치가 항상 일정하게 될 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장비의 웨이퍼 이송장치.