초록 ▼

본 발명의 기판 건조 장치는, 기체 상태의 이소프로필 알코올(IPA, Iso-Propyl Alcohol)과 세정 물질을 이용하여 웨이퍼에 대한 건조 작업이 진행되는 웨이퍼 건조부; 웨이퍼 건조부와 연결되며, 웨이퍼에 대한 건조 작업 완료 시 웨이퍼 건조부에 수용된 세정 물질이 배출되는 세정 물질 배출부; 및 세정 물질 배출부와 연통되게 결합되며, 웨이퍼 건조부에서 웨이퍼에 대한 건조 작업 결과 발생될 수 있는 흄(fume)을 제거하기 위하여, 흡입력을 발생시키는 흄 흡입력 발생부;를 포함한다. 본 발명에 따르면, 웨이퍼에 대한 건조

본 발명의 기판 건조 장치는, 기체 상태의 이소프로필 알코올(IPA, Iso-Propyl Alcohol)과 세정 물질을 이용하여 웨이퍼에 대한 건조 작업이 진행되는 웨이퍼 건조부; 웨이퍼 건조부와 연결되며, 웨이퍼에 대한 건조 작업 완료 시 웨이퍼 건조부에 수용된 세정 물질이 배출되는 세정 물질 배출부; 및 세정 물질 배출부와 연통되게 결합되며, 웨이퍼 건조부에서 웨이퍼에 대한 건조 작업 결과 발생될 수 있는 흄(fume)을 제거하기 위하여, 흡입력을 발생시키는 흄 흡입력 발생부;를 포함한다. 본 발명에 따르면, 웨이퍼에 대한 건조 완료 후 웨이퍼 건조부 내에 있는 세정 물질, 예를 들면 순수를 완전히 배출할 수 있을 뿐만 아니라, 건조 결과 발생되는 흄(fume)을 완전히 제거할 수 있어 웨이퍼 건조부 내의 청정도를 우수하게 유지할 수 있으며, 이로 인해 흄에 의한 웨이퍼 오염이 발생되는 것을 완전히 차단할 수 있다.

대표청구항 ▼

기체 상태의 이소프로필 알코올(IPA, Iso-Propyl Alcohol)과 세정 물질을 이용하여 웨이퍼에 대한 건조 작업이 진행되는 웨이퍼 건조부;상기 웨이퍼 건조부와 연결되며, 상기 웨이퍼에 대한 건조 작업 완료 시 상기 웨이퍼 건조부에 수용된 세정 물질이 배출되는 세정 물질 배출부; 및상기 세정 물질 배출부와 연통되게 결합되며, 상기 웨이퍼 건조부에서 상기 웨이퍼에 대한 건조 작업 결과 발생될 수 있는 흄(fume)을 제거하기 위하여, 흡입력을 발생시키는 흄 흡입력 발생부;를 포함하며,상기 흄 흡입력 발생부와 상기 세정 물질

기체 상태의 이소프로필 알코올(IPA, Iso-Propyl Alcohol)과 세정 물질을 이용하여 웨이퍼에 대한 건조 작업이 진행되는 웨이퍼 건조부;상기 웨이퍼 건조부와 연결되며, 상기 웨이퍼에 대한 건조 작업 완료 시 상기 웨이퍼 건조부에 수용된 세정 물질이 배출되는 세정 물질 배출부; 및상기 세정 물질 배출부와 연통되게 결합되며, 상기 웨이퍼 건조부에서 상기 웨이퍼에 대한 건조 작업 결과 발생될 수 있는 흄(fume)을 제거하기 위하여, 흡입력을 발생시키는 흄 흡입력 발생부;를 포함하며,상기 흄 흡입력 발생부와 상기 세정 물질 배출부는 상기 흄의 이동을 위한 흡입관으로 연결되되, 상기 흡입관은 상기 세정 물질이 미수용되는 상기 세정 물질 배출부의 상단부에 연통되도록 결합되고,상기 흄 흡입력 발생부는, 상기 흄이 발생 가능한 상기 웨이퍼 건조부에 비해 저압을 가짐으로써 상기 흄을 흡입할 수 있도록, 압력을 감소시킬 수 있는 감압 장치로 마련되는 기판 건조 장치.