초록 ▼

본 발명의 실시예는 기판을 처리하는 방법 및 장치를 제공한다. 기판을 처리하는 장치는 기판을 처리하는 공정을 수행하는 기판 처리 유닛, 상기 기판 처리 유닛에서 발생하는 흄(Fume)을 배기하는 배기 유닛을 포함하되, 상기 배기 유닛은 상기 기판 처리 유닛에 연결되어 배기통로를 가지는 배기관, 상기 배기관에 설치되어 상기 기판 처리 유닛을 감압하는 감압 부재 및 상기 기판 처리 유닛과 상기 감압 부재 사이에 배치되며 상기 흄(Fume)을 수집하는 흄 수집부를 포함할 수 있다.이로 인해 배기관에 흄 수집부가 제공되므로 배기관의 내벽에

본 발명의 실시예는 기판을 처리하는 방법 및 장치를 제공한다. 기판을 처리하는 장치는 기판을 처리하는 공정을 수행하는 기판 처리 유닛, 상기 기판 처리 유닛에서 발생하는 흄(Fume)을 배기하는 배기 유닛을 포함하되, 상기 배기 유닛은 상기 기판 처리 유닛에 연결되어 배기통로를 가지는 배기관, 상기 배기관에 설치되어 상기 기판 처리 유닛을 감압하는 감압 부재 및 상기 기판 처리 유닛과 상기 감압 부재 사이에 배치되며 상기 흄(Fume)을 수집하는 흄 수집부를 포함할 수 있다.이로 인해 배기관에 흄 수집부가 제공되므로 배기관의 내벽에 흄이 부착되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 흄 수집부에 액을 채우고 흄(Fume)이 액에 떨어지므로 흄(Fume) 수집을 효과적으로 할 수 있다. 또한 흄(Fume)이 일정량 수집되면 자동으로 흄(Fume)이 용해된 액의 배기와 흄 수집부로 새로운 액의 공급을 자동으로 수행할 수 있으므로 유지보수에 소요되는 시간을 줄이고, 이로 인해 설비 가동율을 향상시킬 수 있다.

대표청구항

기판을 처리하는 장치에 있어서,기판을 처리하는 공정을 수행하는 기판 처리 유닛;상기 기판 처리 유닛에서 발생하는 흄(Fume)을 배기하는 배기 유닛을 포함하되;상기 배기 유닛은,상기 기판 처리 유닛에 연결되며 배기통로를 가지는 배기관;상기 배기관에 설치되어 상기 기판 처리 유닛을 감압하는 감압 부재 및;상기 기판 처리 유닛과 상기 감압 부재 사이에 배치되며 상기 흄(Fume)을 수집하는 흄 수집부를 포함하는 기판 처리 장치.

기판을 처리하는 장치에 있어서,기판을 처리하는 공정을 수행하는 기판 처리 유닛;상기 기판 처리 유닛에서 발생하는 흄(Fume)을 배기하는 배기 유닛을 포함하되;상기 배기 유닛은,상기 기판 처리 유닛에 연결되며 배기통로를 가지는 배기관;상기 배기관에 설치되어 상기 기판 처리 유닛을 감압하는 감압 부재 및;상기 기판 처리 유닛과 상기 감압 부재 사이에 배치되며 상기 흄(Fume)을 수집하는 흄 수집부를 포함하는 기판 처리 장치.