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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2013-0146912 (2013-11-29) | |
| 등록번호 | 10-1524714-0000 (2015-05-26) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020130146912 | |
| 발명자 / 주소 | ||
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2013-11-29) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 등록 |
본 발명은 기판 열처리 챔버용 흄 처리 장치 및 방법, 및 이를 구비한 기판 열처리 챔버 및 기판 열처리 장치를 개시한다.본 발명에 따른 기판 열처리 챔버용 흄 처리 장치는 상기 기판 열처리 챔버의 열처리 공간과 연결되며, 상기 열처리 공간 내에서 발생하는 흄이 배출되는 열교환기; 상기 열교환기의 상부에 제공되며, 상기 열교환기를 통과한 상기 흄의 유해 물질을 제거하기 위한 필터; 상기 필터의 상부에 제공되며, 상기 열처리 공간 내에서 발생하는 상기 흄을 상기 열교환기 내로 흡입하도록 흡입력을 인가하는 블로워; 상기 블로워와 연결되
기판 열처리 챔버용 흄 처리 장치에 있어서,상기 기판 열처리 챔버의 열처리 공간과 연결되며, 상기 열처리 공간 내에서 발생하는 흄이 배출되는 열교환기;상기 열교환기의 상부에 제공되며, 상기 열교환기를 통과한 상기 흄의 유해 물질을 제거하기 위한 필터;상기 필터의 상부에 제공되며, 상기 열처리 공간 내에서 발생하는 상기 흄을 상기 열교환기 내로 흡입하도록 흡입력을 인가하는 블로워;상기 블로워와 연결되며, 상기 필터를 통과한 상기 흄을 외부로 배출하기 위한 배출 덕트;상기 열교환기의 하부에 제공되며, 상기 열교환기에 의해 응측된 상기
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