초록 ▼

본 발명은 챔버의 저압 형성과 셔터부의 배기용량을 증대시켜 프로세스 중에 발생하는 흄의 잔존농도량의 감소에 따른 셔터부 및 챔버 내부의 손상을 방지하고, 흡배기량 조절에 따른 챔버 내부의 압력 관리가 보다 효율적으로 이루어질 수 있도록 한 글라스 열처리용 오븐에 관한 것이다. 그 구성은 셔터부를 1차 셔터와 2차 셔터로 분리하여 상기 1차 셔터와 2차 셔터의 사이에 서브챔버가 형성되도록 하고, 상기 서브챔버는 격벽 플레이트에 의해 오븐 본체 내부의 챔버와 차폐되며, 서브챔버의 양측에 배기덕트를 형성하고, 오븐본체의 상측에 상기 배기

본 발명은 챔버의 저압 형성과 셔터부의 배기용량을 증대시켜 프로세스 중에 발생하는 흄의 잔존농도량의 감소에 따른 셔터부 및 챔버 내부의 손상을 방지하고, 흡배기량 조절에 따른 챔버 내부의 압력 관리가 보다 효율적으로 이루어질 수 있도록 한 글라스 열처리용 오븐에 관한 것이다. 그 구성은 셔터부를 1차 셔터와 2차 셔터로 분리하여 상기 1차 셔터와 2차 셔터의 사이에 서브챔버가 형성되도록 하고, 상기 서브챔버는 격벽 플레이트에 의해 오븐 본체 내부의 챔버와 차폐되며, 서브챔버의 양측에 배기덕트를 형성하고, 오븐본체의 상측에 상기 배기덕트와 연통하는 셔터부 배기통로가 형성된 것이다.

대표청구항 ▼

챔버(6)의 전면부에 다단의 셔터부(8)가 구비된 오븐본체(1)로 구성되고, 상기 오븐본체(1)의 내부로 흡기구(3)를 통하여 유입된 공기가 히터(4)에 의해 가열되며, 가열된 공기는 시로코팬(2)에 의해 열풍이 되어 헤파필터(5)를 거쳐 챔버(6) 내부의 기판(100)을 가열한 후, 다시 히터(4)쪽으로 순환하여 배기구(7)를 통해 오븐본체(1)의 외부로 배출되도록 구성한 글라스 열처리용 오븐에 있어서,상기 셔터부(8)를 1차 셔터(8a)와 2차 셔터(8b)로 분리하여 상기 1차 셔터(8a)와 2차 셔터(8b)의 사이에 서브챔버(

챔버(6)의 전면부에 다단의 셔터부(8)가 구비된 오븐본체(1)로 구성되고, 상기 오븐본체(1)의 내부로 흡기구(3)를 통하여 유입된 공기가 히터(4)에 의해 가열되며, 가열된 공기는 시로코팬(2)에 의해 열풍이 되어 헤파필터(5)를 거쳐 챔버(6) 내부의 기판(100)을 가열한 후, 다시 히터(4)쪽으로 순환하여 배기구(7)를 통해 오븐본체(1)의 외부로 배출되도록 구성한 글라스 열처리용 오븐에 있어서,상기 셔터부(8)를 1차 셔터(8a)와 2차 셔터(8b)로 분리하여 상기 1차 셔터(8a)와 2차 셔터(8b)의 사이에 서브챔버(10)가 형성되도록 하고, 상기 서브챔버(10)는 격벽 플레이트(9)에 의해 오븐본체(1) 내부의 챔버(6)와 차폐되며, 서브챔버(10)의 양측에 배기덕트(11)를 형성하고, 오븐본체(1)의 상측에 상기 배기덕트(11)와 연통하는 셔터부 배기통로(12)가 형성된 것을 특징으로 한 글라스 열처리용 오븐.