[특허]선형 증발원 및 이를 포함하는 증착 장치

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선형 증발원 및 이를 포함하는 증착 장치 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC9판)	H01L-021/205
출원번호	10-2009-0126143 (2009-12-17)
공개번호	10-2011-0069418 (2011-06-23)
등록번호	10-1094299-0000 (2011-12-08)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020090126143
발명자 / 주소	서민규 / 경기도 용인시 기흥구 농서동 산 번지 한상진 / 경기도 용인시 기흥구 농서동 산 번지 노철래 / 경기도 용인시 기흥구 농서동 산 번지 안재홍 / 경기도 용인시 기흥구 농서동 산 번지
출원인 / 주소	삼성모바일디스플레이주식회사 / 경기도 용인시 기흥구 농서동 산**번지
대리인 / 주소	팬코리아특허법인
심사청구여부	있음 (2009-12-17)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록 ▼

본 발명은 선형 증발원 및 이를 포함하는 증착 장치에 관한 것으로, 다수의 격벽을 이용하여 도가니의 내부 공간을 분리하는 선형 증발원에 있어서, 상기 도가니의 분리된 공간에 잔존하는 증발 물질량의 편차를 최소화하여, 성막 불균일을 방지할 수 있는 선형 증발원 및 이를 포함하는 증착 장치에 관한 것이다.본 발명은 일측이 개구되며, 증발 물질을 저장하는 도가니; 상기 도가니의 내부 공간을 분할하며, 하부에 하나 또는 다수의 관통홀이 형성되는 다수의 격벽; 상기 도가니의 개구된 측에 위치하며, 다수의 노즐을 포함하는 노즐부; 상기 도가니를 가열하기 위한 가열 수단; 및 상기 도가니, 노즐부 및 가열 수단을 수납하기 위한 하우징을 포함하는 선형 증발원에 관한 것이다.또한, 본 발명은 공정 챔버; 상기 공정 챔버의 일측에 위치하는 선형 증발원; 및 상기 선형 증발원과 대향되도록 위치하는 기판 홀더를 포함하며, 상기 선형 증발원은 일측이 개구되는 도가니, 상기 도가니의 내부 공간을 분할하며 하부에 하나 또는 다수의 관통홀이 형성되는 다수의 격벽, 상기 도가니의 개구된 측에 위치하며 다수의 노즐을 포함하는 노즐부, 상기 도가니를 가열하기 위한 가열 수단 및 상기 도가니, 노즐부 및 가열 수단을 수납하기 위한 하우징을 포함하는 증착 장치에 관한 것이다.

대표청구항

일측이 개구되며, 증발 물질을 저장하는 도가니;상기 도가니의 내부 공간을 분할하며, 하부에 하나 또는 다수의 관통홀이 형성되는 다수의 격벽;상기 도가니의 개구된 측에 위치하며, 다수의 노즐을 포함하는 노즐부;상기 도가니를 가열하기 위한 가열 수단; 및상기 도가니, 노즐부 및 가열 수단을 수납하기 위한 하우징을 포함하고,상기 관통홀은 상기 도가니의 바닥면과 이격되어 있는 선형 증발원.

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[일본] MANUFACTURING DEVICE FOR INFORMATION RECORDING MEDIUM | KUBOTA TAKASHI, HIRANO HIROSHI, OGAWA YOICHI, YANO AKIRA, KITAGAKI NAOKI, SHIRAI HIROSHI, WAKAI KUNIO
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[한국] 격벽을 구비하는 측면 분사형 선형 증발원 및 그 증발원을구비하는 증착장치 | 강희철, 안재홍
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[한국] 증발장치 | 이수환, 임재성, 박진우
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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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