초록 ▼

증착량 측정이 용이한 선형 증발원 및 이를 포함하는 증착 장치가 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따르면, 증발물질이 수용되며 가열에 따라 상기 증발물질이 증발되어 증발입자가 토출되는 도가니와; 상기 도가니와 연통되도록 하단이 상기 도가니의 상단에 결합되는 이송관과, 상기 이송관과 연통되도록 상기 이송관의 상단에 횡방향으로 결합되는 확산관과, 상기 확산관의 상측에 길이 방향으로 형성되는 분사용 노즐과, 상기 확산관의 측단에 형성되는 센싱용 노즐관을 구비하는 분사부와; 상기 센싱용 노즐관에 대향하여 배치되어 상기 센싱용 노즐관에서 토출

증착량 측정이 용이한 선형 증발원 및 이를 포함하는 증착 장치가 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따르면, 증발물질이 수용되며 가열에 따라 상기 증발물질이 증발되어 증발입자가 토출되는 도가니와; 상기 도가니와 연통되도록 하단이 상기 도가니의 상단에 결합되는 이송관과, 상기 이송관과 연통되도록 상기 이송관의 상단에 횡방향으로 결합되는 확산관과, 상기 확산관의 상측에 길이 방향으로 형성되는 분사용 노즐과, 상기 확산관의 측단에 형성되는 센싱용 노즐관을 구비하는 분사부와; 상기 센싱용 노즐관에 대향하여 배치되어 상기 센싱용 노즐관에서 토출되는 증발입자의 증착량을 측정하는 센싱부와; 일단에 상기 센싱용 노즐관이 삽입되고 타단이 상기 센싱부를 향하여 상기 센싱용 노즐관에서 토출되는 상기 증발입자를 상기 센싱부로 유도하는 가이드 튜브를 포함하는, 증착량 측정이 용이한 선형 증발원이 제공된다.

대표청구항 ▼

증발물질이 수용되며 가열에 따라 상기 증발물질이 증발되어 증발입자가 토출되는 도가니와;상기 도가니와 연통되도록 하단이 상기 도가니의 상단에 결합되는 이송관과, 상기 이송관과 연통되도록 상기 이송관의 상단에 횡방향으로 결합되는 확산관과, 상기 확산관의 상측에 길이 방향으로 형성되는 분사용 노즐과, 상기 확산관의 측단에 형성되는 센싱용 노즐관을 구비하는 분사부와;상기 센싱용 노즐관에 대향하여 배치되어 상기 센싱용 노즐관에서 토출되는 증발입자의 증착량을 측정하는 센싱부와;일단에 상기 센싱용 노즐관이 삽입되고 타단이 상기 센싱부를 향하여

증발물질이 수용되며 가열에 따라 상기 증발물질이 증발되어 증발입자가 토출되는 도가니와;상기 도가니와 연통되도록 하단이 상기 도가니의 상단에 결합되는 이송관과, 상기 이송관과 연통되도록 상기 이송관의 상단에 횡방향으로 결합되는 확산관과, 상기 확산관의 상측에 길이 방향으로 형성되는 분사용 노즐과, 상기 확산관의 측단에 형성되는 센싱용 노즐관을 구비하는 분사부와;상기 센싱용 노즐관에 대향하여 배치되어 상기 센싱용 노즐관에서 토출되는 증발입자의 증착량을 측정하는 센싱부와;일단에 상기 센싱용 노즐관이 삽입되고 타단이 상기 센싱부를 향하여 상기 센싱용 노즐관에서 토출되는 상기 증발입자를 상기 센싱부로 유도하는 가이드 튜브와;상기 분사용 노즐이 노출되도록 개구부가 형성되며 상기 분사부의 상단에 설치되는 상단 쿨링 플레이트와;상기 가이드 튜브가 관통하는 관통부가 형성되며, 상기 분사부의 측단에 설치되는 측단 쿨링 플레이트를 포함하며,상기 관통부의 내주가 상기 가이드 튜브의 외주에 접촉되지 않도록 상기 관통부의 내주는 상기 가이드 튜브의 외주보다 큰 것을 특징으로 하는, 증착량 측정이 용이한 선형 증발원.